非球面光学零件短流程加工方法技术

本发明专利技术公开了一种非球面光学零件短流程加工方法，包括以下步骤：先对非球面光学零件进行研磨粗抛，并视情况利用磁流变进行损伤去除；然后通过面形误差测量得到的面形误差峰谷值与面形误差的均方根值的比值来判断，如果比值小于10时，进入磁流变修形迭代加工步骤去除低频面形误差，直到达到面形精度要求结束加工；否则，采用计算机控制小工具光顺迭代加工步骤去除中、高频面形误差，直到面形误差测量与分析结果显示面形误差峰谷值与面形误差均方根值的比值小于10时，进入磁流变修形迭代加工步骤去除低频面形误差，直到面形精度满足要求。本发明专利技术的加工方法具有高效率、高精度的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学零件的加工方法，尤其涉及一种非球面光学零件的加工方法。
技术介绍
非球面的制造非常复杂，需要专门测量系统，传统加工方法虽然已经比较成熟，但是需要专业的工匠技艺，确定性差，手工修抛的效率非常低。传统的计算机控制小工具(磨头)抛光可以消除研磨粗抛后剩余的研磨损伤，并对面形具有光顺效应，但是数控小工具抛光技术，虽然得到了一定的发展，但由于小磨头加工非球面时，抛光盘与镜面不能完全“贴合”，导致抛光胶与抛光液的浓度不能保持长久稳定，使得传统的计算机小磨头加工“去除函数”在加工过程中不能保持稳定，加工收敛比较慢，需要大量的迭代加工，成本难于控制。 磁流变抛光技术可以克服传统抛光的这些限制，其确定性高的特点可以带来高的收敛比，特别是在精加工阶段。磁流变抛光是一种可控柔体抛光，抛光液与镜面接触形成“柔性抛光膜”通过数控的方法使抛光液在镜面上的截流状态保持高度稳定性，具有确定性高，精度高等优点，但其在去除中高频误差上也有局限性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有非球面光学零件加工工艺加工周期长、确定性低的不足，提供一种高效率、高精度的。为解决上述技术问题，本专利技术提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种非球面光学零件短流程加工方法，主要包括以下步骤：(a)研磨粗抛：对非球面光学零件进行研磨粗抛后，如果所述非球面光学零件表面出现损伤，利用磁流变进行损伤去除，否则，进入步骤(b)；(b)面形误差测量与分析：通过面形误差测量得到面形误差峰谷值与面形误差的均方根值，然后根据面形误差峰谷值与面形误差均方根值的比值来判断，即如果所述比值小于10时，进入下述步骤(c1)，否则，进入下述步骤(c2)；(c)继续选择性加工：所述选择性加工过程包括(c1)采用磁流变修形迭代加工步骤去除低频面形误差，直到达到面形精度要求结束加工，否则，回到步骤(b)；或(c2)采用计算机控制小工具光顺迭代加工步骤去除中、高频...

【技术特征摘要】
1.一种非球面光学零件短流程加工方法，主要包括以下步骤 (a)研磨粗抛对非球面光学零件进行研磨粗抛后，如果所述非球面光学零件表面出现损伤，利用磁流变进行损伤去除，否则，进入步骤(b)； (b)面形误差测量与分析通过面形误差测量得到面形误差峰谷值与面形误差的均方根值，然后根据面形误差峰谷值与面形误差均方根值的比值来判断，即如果所述比值小于.10时，进入下述步骤(Cl)，否则，进入下述步骤(c2)； (c)继续选择性加工所述选择性加工过程包括 (cl)采用磁流变修形迭代加工步骤去除低频面形误差，直到达到面形精度要求结束加工，否则，回到步骤(b);...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡皓，石峰，王寅，戴一帆，彭小强，宋辞，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科学技术大学，
类型：发明
国别省市：