金属粉末制造用等离子体装置及金属粉末的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及金属粉末制造用等离子体装置，其具备：反应容器；在与反应容器内的金属原料间生成等离子体，使金属原料蒸发以生成金属蒸汽的等离子体枪；向反应容器供给搬运金属蒸汽的载气的载气供给部；对利用载气从反应容器输送的金属蒸汽冷却以生成金属粉末的冷却管。其中，冷却管具备在不使金属蒸汽和/或金属粉末与冷却用流体直接接触的情况下对其进行冷却的间接冷却区；和配置在间接冷却区后，通过使金属蒸汽和/或金属粉末与冷却用流体接触而对其进行冷却的直接冷却区。冷却管以长度方向下游侧位于上方的方式相对水平方向倾斜10～80°地设置于反应容器，用于除去附着于冷却管内壁附着物的刮板从冷却管的长度方向下游端嵌插到冷却管内。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及制造金属粉末的等离子体装置，特别地，涉及具备管状冷却管并通过利用该冷却管对经过熔融、蒸发而形成的金属蒸汽进行冷却来制造金属粉末的等离子体装置及金属粉末的制造方法。
技术介绍
在制造电子电路或配线基板、电阻、电容器、IC组件等电子部件时，为了形成导体被膜、电极，使用的是导电性金属粉末。作为这样的金属粉末所要求的特性、性状，可以列举杂质少、平均粒径为O. Of 10 μ m左右的细微粉末、粒子形状或粒径均匀、凝聚少、在浆料中的分散性好、结晶性良好等。近年来，伴随电子部件、配线基板的小型化，导体被膜及电极的薄层化、细间距化 得到发展，因而要求更加微细、球状且高结晶性的金属粉末。作为制造这样的细微金属粉末的方法之一，已知有下述等离子体装置利用等离子体使金属原料在反应容器内熔融、蒸发，然后冷却金属蒸汽，使其凝结从而得到金属粉末(参照专利文献1、2)。在这些等离子体装置中，由于使金属蒸汽在气相中凝结，因此能够制造出杂质少、微细、球状且结晶性高的金属粒子。这些等离子体装置均具备长的管状冷却管，对包含金属蒸汽的载气进行多个阶段的冷却。例如，在专利文献I中，具备通过将经过预加热的热气直本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属粉末制造用等离子体装置，其具备：反应容器，其中被供给金属原料；等离子体枪，该等离子体枪在其与所述反应容器内的金属原料之间生成等离子体，使所述金属原料蒸发以生成金属蒸汽；载气供给部，其向所述反应容器内供给用于搬运所述金属蒸汽的载气；以及冷却管，其对利用所述载气从所述反应容器输送的所述金属蒸汽进行冷却，以生成金属粉末，其特征在于，所述冷却管具备间接冷却区和直接冷却区，所述间接冷却区通过用冷却用流体冷却所述冷却管的周围，从而在利用所述载气从所述反应容器输送的所述金属蒸汽和/或金属粉末不与该冷却用流体直接接触的情况下对所述金属蒸汽和/或金属粉末进行间接冷却；所述直接冷却区配置在所述间接冷却区之...

【技术特征摘要】
2011.06.24 JP 2011-1400981.一种金属粉末制造用等离子体装置，其具备 反应容器，其中被供给金属原料； 等离子体枪，该等离子体枪在其与所述反应容器内的金属原料之间生成等离子体，使所述金属原料蒸发以生成金属蒸汽； 载气供给部，其向所述反应容器内供给用于搬运所述金属蒸汽的载气；以及冷却管，其对利用所述载气从所述反应容器输送的所述金属蒸汽进行冷却，以生成金属粉末， 其特征在于， 所述冷却管具备间接冷却区和直接冷却区，所述间接冷却区通过用冷却用流体冷却所述冷却管的周围，从而在利用所述载气从所述反应容器输送的所述金属蒸汽和/或金属粉末不与该冷却用流体直接接触的情况下对所述金属蒸汽和/或金属粉末进行间接冷却；所述直接冷却区配置在所述间接冷却区之后，通过使冷却用流体与所述金属蒸汽和/或金属粉末接触从而对所述金属蒸汽和/或金属粉末进行直接冷却， 并且，将所述冷却管以其长度方向下游侧位于上方的方式相对水平方向倾斜1(Γ80°地设置于所述反应容器，并将用于除去附着于所述冷却管的内壁的附着物的刮板从所述冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水史幸，前川雅之，C塞利克，F科姆西克，AK卡基尔，O德尔林康，
申请(专利权)人：昭荣化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：