一种化学机械抛光液制造技术

技术编号:8108973 阅读:126 留言:0更新日期:2012-12-21 22:20
本发明专利技术公开了一种化学机械抛光液,其含有水,研磨剂,氧化剂和两种或两种以上的非铁过渡元素金属盐。本发明专利技术的化学机械抛光液可显著提高钨的抛光速度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:王晨何华锋俞昌
申请(专利权)人:安集微电子上海有限公司
类型:
国别省市:

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