一种降低DLC涂层内应力的等离子全方位离子沉积设备制造技术

一种降低DLC涂层内应力的等离子全方位离子沉积设备，该设备包括真空镀膜室、抽气系统、充气系统、真空检测系统以及高压电源系统，所述真空镀膜室内设有用于放置镀膜工件的绝缘支架，其特征在于，该设备还设置有DLC涂层掺杂装置，所述掺杂装置包括与真空镀膜室通过管道相连的外置式气源输入装置和位于真空镀膜室内的内置式金属蒸汽源高频感应加热装置。本实用新型专利技术在原有等离子全方位离子沉积设备的基础上增设DLC涂层的掺杂装置，降低DLC涂层的内应力，实现不同的功能需求。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及镀膜领域，具体地说一种能有效降低DLC涂层内应力等离子全方位离子沉积设备。
技术介绍
二十世纪七十年代以来，镀膜工艺在工业界掀起了狂潮，各种镀膜技术纷纷都走向了产业化。在机械制造领域，涉及的问题主要是高耐磨，抗氧化，耐腐蚀，高疲劳寿命等。据不完全统计，在发达国家，由表面失效而造成的经济损失占GDP的4%，这意味着美国每年在表面失效上要花费2800亿美元，在德国，用于降低磨损的润滑油就达到了 20亿美元/年，而且每年以5%的速度剧增，因此，关键零部件的表面处理变得尤为重要。类金刚石涂层在机械制造领域有着广阔的应用，如活塞、活塞环、有色金属加工的刀具、齿轮等。 1971年Aisenberg等人首次利用碳离子制备出类金刚石膜(Diamond LikeCarbon coating,简称DLC涂层)，类金刚石(DLC)涂层是含有金刚石相(sp3键或其杂化态)和石墨相(sp2键)的非晶态碳膜。其中的碳原子部分处于金刚石的杂化状态，部分处于石墨的杂化状态，也有极少数的碳处于sp1杂化态。类金刚石涂层不仅具有高硬度、低摩擦系数，在工件表面镀上DLC之后能起到很好的耐磨减摩效果。同时，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种降低DLC涂层内应力的等离子全方位离子沉积设备，该设备包括真空镀膜室、抽气系统、充气系统、真空检测系统以及高压电源系统，所述真空镀膜室内设有用于放置镀膜工件的支架，其特征在于，该设备还设置有DLC涂层掺杂装置，所述掺杂装置包括与真空镀膜室通过管道相连的外置式气源输入装置和位于真空镀膜室内的内置式金属蒸汽源高频感应加热装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李灿民，陶满，
申请(专利权)人：合肥永信等离子技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：