感测电解质中的生物分子和带电离子制造技术

一种用于生物分子或带电离子的传感器包括：衬底；位于衬底内的第一节点、第二节点和第三节点；位于衬底、第一节点、第二节点和第三节点之上的栅极电介质；第一场效应晶体管（FET），所述第一FET包含位于栅极电介质上的控制栅极、以及第一节点和第二节点；以及第二FET，第二FET包含位于栅极电介质上的感测表面、以及第二节点和第三节点，其中所述感测表面被配置为特别地结合要检测的生物分子或带电离子。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开一般地涉及感测电解质溶液中的生物分子和带电离子的领域。
技术介绍
包括源极、漏极和栅极的场效应晶体管(FET)可以通过使用包含生物分子的电解质作为FET的栅极，用作对于不同类型的生物分子的传感器，所述生物分子包括但不局限于诸如H+或Ca++的带电离子、蛋白质、葡萄糖或病毒(更多信息见P. Bergveld, Sensorsand Actuators B 88 (2003)1-20)。在操作中，通过将电极浸入电解质、并将电极与电压源连接，向FET栅极电解质施加电压。电极的存在可能造成传感器具有相对难处理的设置，并可能制约传感器的小型化和自动化。可包括涂敷有氯化银涂层的银线的电极还可能随时间的经过而导致传感器的可靠性问题，这是由于伴随长期使用而可能出现的电极材料的化学变化而引起的。 不需要将电极浸入电解质中的基于FET的传感器可包括背栅极硅纳米线FET结构(更多信息见 E. Stern et al, Nature, Vol. 445, page 519(2007))。背栅极 FET 使用一层隐埋(buried)氧化物作为栅极电介质。隐埋氧化物可以相对厚，使得次阈值斜率相对大(大于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：S扎法，TH宁，DR多尔曼，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：发明
国别省市：