一种多层薄膜OTFT甲醛气体传感器及其制作方法技术

技术编号：7681875 阅读：424 留言：0更新日期：2012-08-16 05:16

本发明专利技术公开了一种多层薄膜OTFT甲醛传感器及其制作方法，为底栅底接触器件构型，设有源a、漏b、栅c三极，源极和漏极之间的沟道设计为叉指结构；其中源极和漏极为金/钛双层膜，以金材料做电极层，钛材料作为过渡层；源极和漏极之间设置敏感薄膜，该敏感薄膜为有机半导体材料-无机纳米氧化物多层薄膜。本发明专利技术将有机半导体材料与无机纳米氧化物相结合，采用多层膜的方式制备敏感薄膜，大大提高了传感器的灵敏度和响应速度，在实现甲醛气体检测的同时，解除了传统OTFT器件材料选择的局限性，并采用MEMS技术制备OTFT器件，具有体积小、成本低、可集成阵列等优点，为OTFT甲醛传感器的制备与应用开辟了新的途径。