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感测电解质中的生物分子和带电离子制造技术
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文档序号:8049204
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一种用于生物分子或带电离子的传感器包括:衬底;位于衬底内的第一节点、第二节点和第三节点;位于衬底、第一节点、第二节点和第三节点之上的栅极电介质;第一场效应晶体管(FET),所述第一FET包含位于栅极电介质上的控制栅极、以及第一节点和第二节点...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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