吹扫装置、装载部制造方法及图纸

本发明专利技术提供吹扫装置、装载部。能进行规定的气体气氛的极限浓度较高的吹扫处理，并能根据吹扫对象容器所附属的接口件的种类、形状等简单并且顺畅地进行更换成顶端部的种类、形状不同的吹扫喷嘴的作业、维护作业。吹扫装置（P）包括：底面侧吹扫单元（2），安装在能载置吹扫对象容器（1）的载置台（B）上；底面侧吹扫喷嘴主体（3），在上端部具有能与接口件（1a）相接触的接口件接触部（32），在下端部具有能与形成在底面侧吹扫单元上的安装部（42）相配合的被安装部（33），通过使被安装部以能装卸的方式配合于安装部，能将底面侧吹扫喷嘴主体安装到底面侧吹扫单元上；在被安装部配合于安装部的状态下，接口件接触部定位在规定位置并且呈大致水平。

【技术实现步骤摘要】
吹扫装置、装载部
本专利技术涉及一种用于对具有吹扫对象空间的吹扫对象容器进行吹扫处理的吹扫装置、以及具备吹扫装置的装载部。本专利技术涉及能够适用于在无尘室内与半导体制造装置相邻设置的装载部、吹扫站等的吹扫装置。
技术介绍
在半导体的制造工序中，为了提高成品率、品质，在无尘室内对晶圆进行处理。但是，在正在进行元件高集成化、电路微细化、晶圆大型化的如今，在整个无尘室内管理较小的灰尘无论是在成本方面还是技术方面都变得困难。因此，近年来，作为取代提高无尘室内整体的清洁度的方法，采用如下方法：采取仅针对晶圆周围的局部空间进一步提高清洁度的“微环境(mini-environment)方式”并进行除输送晶圆之外的其他处理。在微环境方式中，作为重要的装置使用有被称作FOUP(前开式晶圆传送盒：Front-OpeningUnifiedPod)的存储用容器和装载部(LoadPort)，该FOUP用于在高清洁的环境中输送和保管晶圆，该装载部是一种转接部的装置，其用于在FOUP与半导体制造装置之间取出和放入FOUP内的晶圆、并且用于在FOUP与输送装置之间进行FOUP的交接。即，通过一边将无尘室内、特别是FOUP内和半导体制造装置内维持为高清洁度，一边将配置有装载部的空间、换言之为FOUP外和半导体制造装置外设置成低清洁度，来抑制修建无尘室的成本和运转成本。在这里，FOUP在前面(正面)形成有晶圆的输入输出口，并具备能够封闭该输入输出口的盖(日文：扉)。而且，在使设置在装载部上的门部与设置在FOUP的前面的盖紧密接触的状态下同时打开这些门部及盖，经由输入输出口向半导体制造装置内供给FOUP内的晶圆。之后，再次自半导体制造装置内向FOUP内收纳已实施了各种处理或加工的晶圆。但是，虽然在半导体制造装置内维持着适合于晶圆的处理或加工的规定的气体气氛，但是在自FOUP内向半导体制造装置内送出晶圆时，FOUP的内部空间与半导体制造装置的内部空间将会相互连通。因而，若FOUP内的环境相比于半导体制造装置内为低清洁度，则FOUP内的气体将会进入半导体制造装置内，可能对半导体制造装置内的气体气氛带来不良影响。此外，在自半导体制造装置内向FOUP内收纳晶圆时，也存在如下问题：可能由于在FOUP内的气体气氛中的水分、氧或其他气体等而在晶圆的表面形成氧化膜。作为用于应对这种问题的技术，在专利文献1中公开有如下一种装载部：其具备吹扫装置，当利用装载部的门部打开FOUP的盖、使FOUP的内部空间与半导体制造装置的内部空间相连通的状态下，该吹扫装置利用设置在比开口部靠半导体制造装置侧的吹扫部(吹扫喷嘴)向FOUP内吹入规定的气体(例如氮、非活性气体等)。但是，关于这种在经由输入输出口向半导体制造装置的内部空间开放的FOUP内采用自FOUP的前表面侧(半导体制造装置侧)向FOUP内注入规定的气体来将FOUP内置换成规定的气体气氛的、所谓的前表面侧吹扫方式的吹扫装置，存在如下缺点：由于是在打开FOUP的开口部而使FOUP的内部空间与半导体制造装置的内部空间整体直接相连通的状态下、对该FOUP的内部空间进行吹扫处理，因此难以将FOUP内维持为较高的规定气体气氛浓度，规定的气体气氛的极限浓度较低。另一方面，在专利文献2中公开了如下一种装载部：其具备吹扫装置，当检测出在装载部的载置台上载置了收纳有晶圆的FOUP时，该吹扫装置自FOUP的底面侧向内部注入规定的气体(例如氮、非活性气体等)来充满该FOUP，从而将FOUP内置换成规定的气体气氛。关于这种自FOUP的底面侧向FOUP内注入氮、干燥空气等气体来将FOUP内置换成规定的气体气氛的所谓的底面侧吹扫方式的吹扫装置，与前表面侧吹扫方式的吹扫装置相比较，具有规定的气体气氛的极限浓度较高的优点。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009－038074号公报专利文献2：日本特开2006－351619号公报关于上述底面侧吹扫方式的吹扫装置，由于在使吹扫喷嘴与设置在FOUP的底面上的筒状的接口件(注入口)接触的状态下进行吹扫处理，因此在接口件与吹扫喷嘴相接触的状态下需要确保良好的气密性。但是，若因FOUP的种类的不同而导致接口件的种类、形状不同，则存在不能确保吹扫喷嘴和接口件之间的、确保了较高气密性的良好的接触状态的情况。此外，吹扫喷嘴中可能与接口件接触的顶端部(上端部)在因经年老化、使用频率而产生了摩耗损伤、变形的情况下，也可能无法确保其与接口件之间的、确保了较高气密性的良好的接触状态。为了避免这种情况，也考虑到能够根据接口件的种类、形状或吹扫喷嘴顶端部的摩耗损伤程度来更换吹扫喷嘴的吹扫装置。但是，由于吹扫喷嘴以单元化的状态保持在载置台的规定位置，因此自载置台拆卸、安装这种吹扫喷嘴单元整体的更换作业较为烦杂，不能够顺畅地进行该更换作业。此外，为了提高吹扫喷嘴和接口件之间的气密性，也考虑到使O型环等密封材料介于两者之间的方式。但是，这种方式不仅会导致零部件数量增加，也会对SEMI标准所规定的FOUP的水平基准面(horizontaldatumplane)的高度位置带来影响，故不优选。即，难以通过使密封材料介于吹扫喷嘴和接口件之间来将水平基准面的高度位置高精度地设定成标准所规定的值。在这里，FOUP的水平基准面是根据自地面至设置在装载部上的FOUP的底部水平面为止的距离来定义的。此外，FOUP自装载部的上方经由OHP(OverheadHoistTransfer)等输送装置而载置到载置台上，由于在该输送时、载置时FOUP摇晃，因此存在吹扫喷嘴和接口件难以以高气密状态相接触的情况。特别是，在以顶端部(上端部)以非水平的状态将吹扫喷嘴安装到载置台上的情况下，难以使吹扫喷嘴和接口件在确保了较高的气密性状态下相接触。另外，不限于装载部的吹扫装置，在除装载部以外的吹扫装置、例如储料器的吹扫装置、吹扫站的吹扫装置中也可能产生这种不良情况。
技术实现思路
本专利技术是着眼于这种问题而完成的，其主要目的在于提供如下一种吹扫装置：其能够进行规定的气体气氛的极限浓度较高的吹扫处理，并且能够根据吹扫对象容器所附属的接口件的种类、形状等简单并且顺畅地进行更换成顶端部(接口件接触部)的种类、形状不同的吹扫喷嘴的作业、维护作业。即，本专利技术涉及能够经由设置在吹扫对象容器的底面上的接口件将吹扫对象容器内的气体气氛置换成氮或干燥空气的吹扫装置。在这里，本专利技术中的“吹扫对象容器”包含在FOUP等内部具有吹扫对象空间的容器整体。而且，本专利技术提供一种吹扫装置，其特征在于，该吹扫装置包括：底面侧吹扫单元，其安装在能够载置吹扫对象容器的载置台上；以及底面侧吹扫喷嘴主体，其在上端部具有能够与接口件相接触的接口件接触部，并且在下端部具有能够与形成在底面侧吹扫单元上的安装部相配合的被安装部，并且通过使该被安装部以能够装卸的方式与安装部配合，能够将底面侧吹扫喷嘴主体安装到底面侧吹扫单元上；在使被安装部与安装部配合的状态下，接口件接触部构成为定位在规定位置处并且呈大致水平。如此，由于本专利技术的吹扫装置以能够装卸的方式将底面侧吹扫喷嘴主体安装在设置于载置台上的底面侧吹扫单元上，因此根据接口件的由于吹扫对象容器的种类等的不同而不同的种类、形状来改变喷嘴的种类的情况下，不需要自载置台本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吹扫装置，其特征在于，该吹扫装置能够经由设置在吹扫对象容器的底面上的接口件将该吹扫对象容器内的气体气氛置换成氮或干燥空气，该吹扫装置包括：底面侧吹扫单元，其安装在能够载置上述吹扫对象容器的载置台上；以及底面侧吹扫喷嘴主体，其在上端部具有能够与上述接口件相接触的接口件接触部，并且在下端部具有能够与形成在上述底面侧吹扫单元上的安装部相配合的被安装部，通过使上述被安装部以能够装卸的方式与上述安装部配合，能够将上述底面侧吹扫喷嘴主体安装到上述底面侧吹扫单元上；在使上述被安装部与上述安装部配合的状态下，上述接口件接触部定位在规定位置并且呈大致水平。

【技术特征摘要】
2011.05.31 JP 2011-1214531.一种吹扫装置，其特征在于，该吹扫装置能够经由设置在吹扫对象容器的底面上的接口件将该吹扫对象容器内的气体气氛置换成氮或干燥空气，该吹扫装置包括：底面侧吹扫单元，其安装在能够载置上述吹扫对象容器的载置台上；以及底面侧吹扫喷嘴主体，其在上端部具有能够与上述接口件相接触的接口件接触部，并且在下端部具有能够与形成在上述底面侧吹扫单元上的安装部相配合的被安装部，通过使上述被安装部以能够装卸的方式与上述安装部配合，能够将上述底面侧吹扫喷嘴主体安装到上述底面侧吹扫单元上；在使上述被安装部与上述安装部配合的状态下，上述接口件接触部定位在规定位置，由上述底面侧吹扫单元及上述底面侧吹扫喷嘴主体构成吹扫喷嘴，该吹扫装置还包括升降机构，该升降机构使上述吹扫喷嘴在上述接口件接触部能够与上述接口件相接触的吹扫位置与上述接口件接触部不会与上述接口件相接触的待机位置之间移动，处于上述吹扫位置的上述接口件接触部相对于由SEMI标准所规定的FOUP的水平基准面大致水平。2.一种吹扫装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：中野高彰，
申请(专利权)人：昕芙旎雅有限公司，
类型：发明
国别省市：