【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种石英坩埚喷淋清洗机,其特征在于:包括风淋传送间(1)、喷酸房(2)、纯水清洗房(3)、烘干房(4)、传动系统和辊筒,所述风淋传送间(1)、喷酸房(2)、纯水清洗房(3)和烘干房(4)依次连接,石英坩埚放置在由传动系统伺服电机驱动的辊筒上,所述风淋传送间(1)内设置有风淋喷嘴,风淋喷嘴与风机连接,所述喷酸房(2)内的喷酸池内设有搅拌器、浓度仪和加热器,所述纯水清洗房(3)内设有喷淋管和恒温加热器。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:邵天聪,金军,
申请(专利权)人:江苏华尔光电材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。