【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空设备
，特别涉及一种光伏产业中多晶炉工艺所需要的抽真空装置。
技术介绍
目前，多晶炉生产工艺中，拉一炉多晶硅，抽真空装置一般要运行50小时，其中抽真空至彡3Pa后运行约6小时左右，其余44小时的保压阶段压力维持在约6 X 104Pa。常规的抽真空装置，就采用一套罗茨泵油旋片泵真空机组(粗抽泵+罗茨泵组合)，因为二者的压差相差很大，在抽真空阶段，抽真空装置是全负荷工作，而在占绝大部分时间的保压阶段， 罗茨泵油旋片泵真空机组的能力显得很富裕，也即利用率低。
技术实现思路
为了解决常规设备技术中存在的不足，本技术所要解决的技术问题是提供一种有效节约电力能源，根据罗茨 泵油旋片泵真空机组与油旋片真空泵根据拉晶工艺中不同时间段对真空度的不同要求，可以进行分段使用的装置。本技术解决上述技术问题的技术方案如下一种抽真空装置，包括罗茨泵油旋片泵真空机组，油旋片真空泵，三个真空阀，真空计，罗茨泵油旋片泵真空机组与第一真空阀的进口经过真空管道相连接并且在二者相连接的真空管道上装有真空计，油旋片真空泵与第二真空阀的进口经过真空管道相连接，第一真空阀与第二真空阀的出口经过真...
【技术保护点】
一种抽真空装置，包括罗茨泵油旋片泵真空机组，油旋片真空泵，三个真空阀，真空计，其特征在于：罗茨泵油旋片泵真空机组与第一真空阀的进口经过真空管道相连接并且在二者相连接的真空管道上装有真空计，油旋片真空泵与第二真空阀的进口经过真空管道相连接，第一真空阀与第二真空阀的出口经过真空管道相连接后与第三真空阀的进口经过真空管道相连接，第三真空阀的出口与多晶炉的进口经过真空管道相连接？。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：深浦裕治，
申请(专利权)人：宁波爱发科真空技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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