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本实用新型涉及真空设备技术领域，特别涉及一种光伏产业中多晶炉工艺所需要的抽真空装置。包括罗茨泵油旋片泵真空机组，油旋片真空泵，真空阀，真空计。本实用新型在抽真空过程中利用罗茨泵油旋片泵真空机组对工件或真空箱进行抽真空；在充氩保压阶段，采用低...
该专利属于宁波爱发科真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波爱发科真空技术有限公司授权不得商用。

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