【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种测试仪，特别涉及一种真空薄膜电阻测试仪。
技术介绍
目前，薄膜电阻的测试方法是四探针法，而在真空变温状态中，测试薄膜电阻的仪器是一个空白。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种真空薄膜电阻测试仪，能在真空变 温状态中测试薄膜电阻。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是由玻璃罩、四探针组件、加热器、电学组合箱、气压表、底座和真空泵组成，其特征是底座上有玻璃罩和气压表，在玻璃罩内有四探针组件和加热器，电学组合箱和底座相连，真空泵和和底座相连。由于采用上述技术方案，本技术所具有的优点和积极效果是测量精度高，操作简单。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。说明书附图是本技术的结构示意图。图中I.玻璃罩2.四探针组件3.加热器4.电学组合箱5.气压表6.底座7.真空泵具体实施方式在说明书附图中，底座(6)上有玻璃罩⑴和气压表(5)，在玻璃罩⑴内有四探针组件⑵和加热器⑶，电学组合箱⑷和底座(6)相连，真空泵(7)和和底座(6)相连。
【技术保护点】
一种真空薄膜电阻测试仪，由玻璃罩、四探针组件、加热器、电学组合箱、气压表、底座和真空泵组成，其特征是：底座(6)上有玻璃罩(1)和气压表(5)，在玻璃罩(1)内有四探针组件(2)和加热器(3)，电学组合箱(4)和底座(6)相连，真空泵(7)和和底座(6)相连。
【技术特征摘要】
1.一种真空薄膜电阻测试仪，由玻璃罩、四探针组件、加热器、电学组合箱、气压表、底座和真空泵组成，其特征是底座(6)上有玻璃罩(...
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