本发明专利技术涉及一种压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。本发明专利技术提供也能应对小型化的压电振动器。如下地形成压电振动器的通孔，即在盖基板和由玻璃材料构成的基底基板之间形成的空腔内密封了压电振动片。在基底基板形成1个通孔，在该通孔内配置一对贯通电极，填充玻璃料(6a)，利用烧成固化并密封通孔。通过将一对贯通电极配置于1个通孔内，对1个压电振动器设有1个通孔，能够增强弯曲强度。另外，也能够应对压电振动器的小型化。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。
技术介绍
近年来，在便携电话、便携信息終端设 备中，使用利用了水晶等的压电振动器作为时刻源、控制信号等的定时源、參考信号源等。该压电振动器具备互相接合的基底基板及盖(盖子)基板，以及密封于在两基板之间形成的空腔(空洞部)C内的压电振动片。压电振动片例如是音叉型的振动片，在空腔C内装配于基底基板的上表面。基底基板及盖基板由玻璃基板形成。在基底基板与形成于振动片的I对电极对应地形成沿其厚度方向贯通的I对通孔(贯通孔)。在该I对通孔内以堵塞该通孔的方式埋入导电部件并形成贯通电扱。贯通电极与在基底基板的外表面(下表面)形成的外部电极电连接，并且与装配于空腔C内的压电振动片电连接。而且，在现有的压电振动器中，如专利文献I所公开的那样，使用模具在玻璃封装件(package)形成I对圆筒形的通孔，通过在两通孔填充银膏而形成贯通电扱。另外，也提出有以下的方法在玻璃封装件中，形成截面形状为圆锥形状的I对通孔，在各通孔配置金属销(贯通电极)，进而在通孔内填充低熔点玻璃。专利文献I :日本特开2002-124845号公报
技术实现思路
然而，使玻璃封装件小型化时，难以配置多个通孔。这是因为近距离地形成ー对通孔时，在两通孔间有玻璃基板产生缺ロ之虞。因此，在如以往那样对玻璃基板形成一对通孔的构成中，难以满足耐久性并且使压电振动器小型化。因此，本专利技术的目的在于，提供满足耐久性并且能小型化的压电振动器。在本申请专利技术中，提供ー种压电振动器，其特征在于，具备基底基板，其由玻璃材料构成；盖基板，其与所述基底基板接合；空腔用的凹部，其形成于所述盖基板及所述基底基板的至少ー个；1个通孔，其形成于所述基底基板；ー对贯通电极，其配设于所述通孔内；密封玻璃，其保持所述ー对贯通电极，并且密封所述通孔；压电振动片，其形成ー对电扱，使该ー对电极和所述ー对贯通电极电连接，并以收纳于所述空腔的状态装配于所述基底基板；以及ー对外部电极，其在所述基底基板的下表面与所述ー对贯通电极分别电连接。依据本申请的专利技术，对基底基板形成I个通孔，在该通孔内配置一对贯通电极。因此，与设置2个通孔的情况相比吋，能够使压电振动器小型化。附图说明图I是本专利技术的压电振动器的概略构成图。图2是本专利技术的压电振动器的内部构成图。图3是沿着图2所示的A-A线的压电振动器的截面图。图4是本专利技术的压电振动器的概略构成图。图5是本专利技术中的压电振动片的俯视图。图6是本专利技术中的压电振动片的仰视图。图7是图5所示的截面向视B-B图。图8是说明本专利技术的压电振动器的制造エ序的流程图。图9是示出本专利技术的压电振动器的エ序的图。 图10是示出本专利技术的压电振动器的制造エ序的图。图11是示出本专利技术的压电振动器的制造エ序的图。图12是示出本专利技术的压电振动器的制造エ序的图。图13是示出本专利技术的压电振动器的制造エ序的图。图14是本专利技术中的基底基板用圆片(wafer)的整体图。图15是示出本专利技术的压电振动器的制造エ序的图。图16是示出本专利技术的压电振动器的制造エ序的图。图17是本专利技术的振荡器的概略构成图。图18是本专利技术的电子设备的概略构成图。图19是本专利技术的电波钟的概略构成图。标号说明I压电振动器；2基底基板；3盖基板；4压电振动片；6a玻璃料(低熔点玻璃);6密封玻璃；7贯通电极；8基座板；90金属销；9封装件；30通孔；35接合膜；36、37迂回电极(内部电极)；37b迂回电极(外部电极)；40基底基板用圆片(基底基板)；50盖基板用圆片(盖基板)；70电极底座部；100振荡器；101振荡器的集成电路；110便携信息设备(电子设备)；113电子设备的计时部；130电波钟；131电波钟的滤波部；321形成模；322凸部；C空腔；L接合宽度。具体实施例方式(I)实施方式的概要首先，制作基底基板用圆片40和盖基板用圆片50。这些圆片由钠钙玻璃形成。在基底基板用圆片40仅形成比现有的通孔大的I个通孔(贯通孔)30。在该通孔30配设2个贯通电极7。在通孔30填充密封玻璃6，并利用该密封玻璃6将贯通电极7固定于通孔30内，并且密封通孔30。在盖基板用圆片50形成多个形成空腔C的凹部3a，在凹部3a侧的表面形成接合膜35。另ー方面，在基底基板用圆片40装配压电振动片4。然后，利用阳极接合使基底基板用圆片40和盖基板用圆片50接合，形成圆片体。其后，通过沿着切断线切断接合的圆片体，能够制造多个压电振动器。(2)实施方式的详细内容图I 图4表示压电振动器I的构成。如该图所示，本实施方式的压电振动器I主要由基底基板2、盖基板3和压电振动片4构成。压电振动器I是表面安装型(SMD, Surface Mount Device)的压电振动器,其具备封装件9，其具备以形成空腔C的方式叠合的基底基板2及盖基板3 ；以及压电振动片4，容纳于空腔C内并与后述的迂回电极(内部电极)36、37电连接。在本实施方式中，通过在盖基板3侧形成凹部3a而形成空腔C，但也可通过在基底基板2侧形成凹部，或者通过在基底基板2和盖基板3双方形成凹部而形成空腔C。(3)压电振动片如图5 图7所示，压电振动片4是由水晶、钽酸锂、铌酸锂等的压电材料形成的音叉型的振动片，在施加了既定电压时振动。该压电振动片4具有平行配置的ー对振动臂部10、11 ;整体地回定该ー对振动臂部10、11的基端侧的基部12 ;由在ー对振动臂部10、11的基端部的外表面上形成并使ー对振动臂部10、11振动的第I、第2激振电极13、14构成 的激振电极15 ;以及与第I激振电极13及第2激振电极14电连接的装配电极16、17。另夕卜，在振动臂部10、11的两主面上沿着长度方向形成槽部18。该槽部18形成于从振动臂部IOUl的基端侧到大致中间附近。由第I激振电极13和第2激振电极14构成的激振电极15，是使ー对振动臂部10、11沿互相接近或分离的方向以既定谐振频率振动的电极，在ー对振动臂部10、11的外表面构图。具体而言，第I激振电极13主要在ー个振动臂部10的槽部18上和另ー个振动臂部11的两侧面上形成，第2激振电极14主要在ー个振动臂部10的两侧面上和另ー个振动臂部11的槽部18上形成。另外，第I激振电极13及第2激振电极14在基部12的两主面上分别经由引出电极19、20与装配电极16、17电连接。而且，经由该装配电极16、17向压电振动片4施加电压。此外，激振电极15，装配电极16、17及引出电极19、20由例如铬(Cr)、镍(Ni)、铝(Al)、钛(Ti)等导电性膜形成。另外，在ー对振动臂部10、11的前端部覆盖重锤金属膜21，其用于以使自身的振动状态在既定的频率范围内振动的方式进行频率调整。此外，该重锤金属膜21分为对频率进行粗调整时使用的粗调膜21a，和进行微小调整时使用的微调膜21b。粗调膜21a与微调膜21b相比形成于靠近振动臂部10、11的前端部侧。通过利用这些粗调膜21a及微调膜21b进行频率调整，能够使ー对振动臂部10、11的频率落入器件的目标频率的范围内。如图3所示，这样地构成的压电振动片4与基底基板2的上表面(空腔C侧的面)接合。具体而言，在基底基板2的内表面构图的迂回电极36、37和压电振动片4的ー对装配电极16、17分别利本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
2011.03.22 JP 2011-0620031.ー种压电振动器，其特征在于，具备 基底基板，其由玻璃材料构成； 盖基板，其与所述基底基板接合； 空腔用的凹部，其形成于所述盖基板及所述基底基板的至少一个； 一个通孔，其形成于所述基底基板； ー对贯通电极，其配设于所述通孔内； 密封玻璃，其保持所述ー对贯通电极，并且密封所述通孔； 压电振动片，其形成一对电极，使该ー对电极和所述ー对贯通电极电连接，并以收纳于所述空腔的状态装配于所述基底基板；以及 ー对外部电极，其在所述基底基板的下表面与所述ー对贯通电...
【专利技术属性】
技术研发人员：船曳阳一，
申请(专利权)人：精工电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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