【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及脉冲充电电源领域，具体涉及一种谐振式高精度脉冲充电电源。
技术介绍
准分子激光器由于波长短，单光子能量大，可重频运行等特点，广泛应用于加工，医疗，科研等领域，而193nm ArF准分子激光是集成电路光刻用的主要光源，单腔结构的193nm ArF准分子激光器已广泛应用于90nm以下节点的半导体量产。近年来，随着半导体进入45nm、32nm的量产，光刻需要光源更高的输出功率和更窄光谱线宽，而单腔结构的准分子激光器在输出功率和光谱线宽上不能兼顾。一优选的方案为采取双腔ArF准分子激光器结构的振荡-放大系统，振荡腔(MO腔)产生线宽极窄种 子光，注入振荡腔(PA腔)放大，以得到窄线宽和高功率的193nm激光束。由于准分子激光放电持续时间一般在20 50ns，准分子激光器的粒子数反转仅能在放电期间存在，在这种双腔结构系统中，来自上游的MO腔的种子光注入下游的PA腔中时，PA腔中的粒子数必须反转才能对种子光进行放大，因此MO腔和PA腔放电要适时的同步，一般MO腔放电后20ns左右PA腔须放电。影响放电时序的主要原因之一为充电电容器上充电电压的变化，因为准分子激...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种谐振式高精度脉冲充电电源，其特征在于，包括有频率发生器、直流电源、电源储能电容器Ctl，所述的直流电源与电源储能电容器Ctl并联并共地，电源储能电容器Ctl的正极连接有相互串联的谐振电感L和开关管K1，开关管Kl分别通过一个导向ニ极管Dl、D2接入充电电容器Cmtl和Cpa，所述的充电电容器Cmtl和Cpa分别并联有一个ニ极管D3、D6，充电电容器Cmtl和Cpa的负极与ニ极管D3、D6的正极共地，ニ极管D3、D6分别与脉冲升压电路一、ニ并联，脉冲升压电路一包括有依次串联的开关K3、ニ极管D7、升压变压器一，脉冲升压电路ニ包括有依次串联的开关K4、ニ极管D8、升压变压器ニ，充电电容器Cmtl的正极与充电电容器Cpa的正极分别通过ー个导向ニ极管D4、D5接入一个泄放回路，所述的泄放回路并联有ー个电压取样电路，电压取样电路包括有串联的电阻Rl、R2，泄放回路包括有串联的电阻R3、开关管K2，...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵家敏，方晓东，梁勖，游利兵，王效顺，王庆胜，李友布，厉彦超，
申请(专利权)人：中国科学院安徽光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：
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