消除印刷器件卫星点的方法技术

本发明专利技术涉及印刷元器件技术领域，这种消除印刷器件（22）中卫星点（23）的方法，包括如下步骤：将通过非接触式印刷后带有卫星点（23）的器件（22）置于腐蚀溶液中，腐蚀1~50秒；再通过纯净水漂洗后吹干，所述器件（22）中的卫星点（23）得到消除。对于金属材料形成印刷器件（22），需要先进行氧化处理，再进行其后续他步骤。由于印刷器件（22）中卫星点（23）的厚度远小于印刷器件（22）的主体，这种整体清洗方法可以有效消除印刷图案中的卫星点（23）而保留印刷器件（22）主体，从而用较低的成本提高元器件的质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及印刷元器件
，尤其是一种消除印刷器件中卫星点的处理方法。
技术介绍
“卫星点”是指在印刷过程中，落到目标区域之外或者与印刷主体分离的零散墨点。卫星点的出现通常会使印刷器件发生一定程度的形变，对高精度要求的印刷产品如用于电子、光学领域的印刷元器件的质量则会产生严重影响。而在非接触式的印刷工艺中，油 墨并非像传统的印刷工艺那样通过印版转移，而是直接喷射到衬底上，因此油墨在喷射过程中以及与衬底接触时会有更多的散点产生，“卫星点”现象较传统的接触式印刷工艺更为严重。有鉴于此，学术界对于在非接触式印刷中如何避免卫星点也作了大量的研究，研究重点主要集中在卫星点的产生机理，以及针对性的优化改良措施。但由于卫星点的产生原因多种多样，在印刷过程中如何尽量减少乃至避免卫星点研究也比较复杂，涉及墨水性质、印刷工艺以及印前处理方面，涵盖了物理化学、流体力学、电子控制等多个学科，研究所得的优化改良措施也只能应用于某种特定印刷工艺下的某类特定油墨。此外，在特殊功能印刷应用领域，目前各种减少和避免卫星点的措施还受到其他方面的局限。例如在印刷电子领域，墨水和基底的改良必须保证不改变功能材料自身的物理、化学和电学性能，从而受到更大的限制。研究一种在印刷后处理卫星点的方法迫在眉睫。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术专为非接触印刷式的印刷方法提供一种消除卫星点的方法。这种消除印刷器件中卫星点的方法，包括如下步骤将通过非接触式印刷后带有卫星点的器件置于腐蚀溶液中进行腐蚀反应；再经过漂洗吹干，所述器件中的卫星点得到消除。其中，针对以上类型的器件，对应的腐蚀溶液是无机酸或有机酸中的一种或多种。为达到完全腐蚀卫星点而保全器件整体结构，控制所述腐蚀反应为广50秒为佳。上述方法所述器件是由墨水通过非接触式印刷方法形成的，所述器件以金属-有机复合材料、金属氧化物中的一种或多种为主要成分。具体来说，所述腐蚀溶液采用浓度为0. Ofl mol/L的乙酸水溶液或者浓度为0.01 I mol/L 盐酸。本专利技术适用于非接触式印刷法，包括喷墨打印法、气流喷印法、电流体动力学喷印法或静电印刷法中的任一种。本专利技术还提供另一种消除印刷器件中卫星点的方法，包括如下步骤将通过非接触式印刷后带有卫星点的器件先进行氧化处理，然后置于腐蚀溶液中进行腐蚀反应，经过漂洗吹干，所述器件中的卫星点得到消除。其中，分别针对上述类型的器件，采用所述腐蚀溶液是无机酸或有机酸中一种或多种。所述腐蚀反应时间为1(T60分钟为佳。本专利技术提供的第二种方法需要对器件进行氧化处理，所述氧化处理是在5_40Pa的真空条件下通过等离子反应器对所述器件进行等离子处理0. 5飞分钟。本方法所述器件由墨水通过非接触式印刷而成的，所述器件以金属单质或合金的一种或多种为主要成分。具体来说，所述腐蚀溶液采用浓度为0. 5^2mol/L的硝酸或浓度为0. 5^2mol/L的盐酸。本专利技术适用于所述非接触式印刷法，包括喷墨打印法、气流喷印法、电流体动力学喷印法或静电印刷法中的一种。·本专利技术提供了用于消除非接触式印刷器件中卫星点的方法，以满足印刷电子行业尽量减少卫星点的需求。本专利技术工艺简单、成本低廉；可应用在多种非接触式印刷方法中，且可在现有印刷技术的基础上消除或减少印刷图案中出现的卫星点，处理方式更直接有效，有利于印刷电子产品质量的提高，有广阔的应用前景。附图说明图Ia为本专利技术实施例I印刷器件的结构示意图。图Ib为图Ia的P-P’面的剖面图。图Ic为本专利技术实施例2 3消除卫星点后的器件的结构示意图。图2a为本专利技术实施例2 3印刷器件的结构示意图。图2b为图2a的Q-Q’面的剖面图。图2c为本专利技术实施例2 3消除卫星点后的器件的结构示意图。具体实施例方式以下结合具体实施方式对本专利技术作进一步的说明。本专利技术的消除印刷元器件卫星点的方法针对不同的墨水所形成不同器件性质，有不同的方式 第一种方法针对主要成分为金属-有机复合材料、金属氧化物的印刷器件。即将通过非接触式印刷后带有卫星点的器件置于腐蚀溶液中，腐蚀广50秒；再通过纯净水漂洗后吹干，所述器件中的卫星点得到消除(参见下述实施例I)。第二种方法针对主要成分为金属单质或合金的印刷器件。即将通过非接触式印刷后带有卫星点的器件先在5-40Pa真空下进行等离子氧化处理，控制反应时间为0. 5飞分钟，然后再用所述腐蚀溶液进行腐蚀，腐蚀10飞0分钟后；再通过纯净水漂洗后吹干，所述器件中的卫星点得到消除(参见下述实施例2、实施例3)。实施例I 如图Ia所示，将厚度为I. 2毫米的玻璃片制成衬底I按需要切割成3 X 3毫米见方的小片，先后浸泡在乙醇、异丙醇和水中各超声2(T50分钟，取出后用高纯氮气吹干。然后在上述处理好的衬底I上按照要求的图样进行喷墨打印，形成器件12。其中，采用0. ro.8 mol/L的醋酸锌-乙醇溶液制作为墨水，喷墨打印机的喷头选用10皮升级别，喷射电压控制在16 25伏特之间，打印速度为0. ro. 5米/秒，打印过程中工作台温度范围控制在在2(T80摄氏度。待打印完成的器件12烘干后放入加热台上进行20(T500摄氏度的烧结操作。所得器件12置于光学显微镜下，可发现所打印的沟道中散布有一定数量的卫星点13，有可能会影响器件的性能。本实施例中，上述醋酸锌-乙醇溶液制成的墨水，在烧结操作后转化为氧化锌固化成器件12的最终样式。图Ib为图Ia的PP’剖面图，针对主要成分为氧化锌的器件12，采用腐蚀溶液为乙酸水溶液。将上述器件12浸入I mol/L的乙酸水溶液中，浸泡10秒后取出并用大量的纯净水漂洗，再用高纯氮气吹干。显微镜下所打印氧化锌的卫星点13已经被去除。乙酸对氧化锌的刻蚀速度较低，印刷器件12主体的腐蚀速度可以控制，在本实施例中，由于器件12主体氧化锌厚度较厚，在上述过程中得以保全，处理后的器件12上30nm厚度的氧化锌被去除。器件12上的卫星点13因为厚度较薄，已经全部被去除，如图Ic所 /Jn o对于这种以氧化锌为主要成分的器件12，在其他实施例中，可先观察卫星点13的厚度和密集程度确定腐蚀溶液的浓度和浸泡时间，对于厚度较大的、密集程度高的卫星点，可以调整乙酸浓度高于本实施例，浸泡时间也可以适当延长。一般调节乙酸在其水溶液的浓度为O.ofl mol/L;浸泡时间为广50秒为佳。对于以金属氧化物为主要成分的器件，其消除卫星点的方法可参考实施例1，腐蚀溶液可以采用能溶解该金属氧化物的无机酸或有机酸，通过调节腐蚀溶液的浓度、浸泡时间等控制腐蚀程度。实施例2 结合图2a所示，取聚酰亚胺薄膜制成柔性的衬底21，切割成2X2毫米见方的小片，先后浸泡在乙醇、异丙醇和水中各超声15 30分钟清洗，取出后用高纯氮气吹干。以此柔性的衬底21按照要求的图样通过气流喷印法打印银墨水，以获得沟道的长度、宽度分别为20微米、500微米的晶体管源、漏电极。打印速度的范围为2 10毫米/秒，打印过程中工作台温度范围控制在4(T80摄氏度。打印完成后将器件22放入烧结烘箱进行15(T300摄氏度的烧结操作，获得可以导电的银器件22。所得器件22置于光学显微镜下，可发现所打印的沟道中散布有一定数量的卫星点23，有可能会影响晶体管的性能。 本实施例中将完成印刷的器件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种消除印刷器件中卫星点的方法，其特征在于，包括如下步骤将通过非接触式印刷后带有卫星点(23)的器件(22)置于腐蚀溶液中进行腐蚀反应；再经过漂洗吹干，所述器件(22)中的卫星点(23)得到消除。2.根据权利要求I所述消除印刷器件中卫星点的方法，其特征在于，所述腐蚀溶液是无机酸或有机酸中的一种或多种；所述腐蚀反应时间为广50秒。3.根据权利要求I或2所述消除印刷器件中卫星点的方法，其特征在于，所述器件(22)以金属-有机复合材料、金属氧化物中的一种或多种为主要成分。4.根据权利要求2所述消除印刷器件中卫星点的方法，其特征在于，所述腐蚀溶液是浓度为0. Ofl mol/L的乙酸水溶液或者浓度为O.Ofl mol/L盐酸。5.根据权利要求I所述消除印刷器件中卫星点的方法，其特征在于，所述非接触式印刷法包括喷墨打印法、气流喷印法、电流体动力学喷印法或静电印刷法中的任一种。6.一种消除印刷器件中卫星点的方法，其特征在于，包括如下步骤将通过非接触式印刷后...

【专利技术属性】
技术研发人员：林剑，陈征，崔铮，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：