【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种机械装置,具体涉及一种金属掩模板面形测量系统。
技术介绍
OLED的自发光、超轻薄、响应速度快、宽视角、低功耗等特性使搭载OLED屏的手机令人追捧。目前,OLED已经初步确立了作为第三代显示器领导核心的地位,随着技术的成熟和大尺寸量产工艺的突破,OLED产品将向更大尺寸延伸。真空掩模蒸镀是制备OLED发光层的主要方法,OLED掩模版所用的材料是热膨胀系数极低的因瓦(Invar)合金,通常掩模版的厚度只有40 y m,带有几百万个微小的长方形像素。由于使用三基色发光材料的彩色OLED在制造过程中需要先后使用几张掩模板,因而对掩模板的精度要求非常高。因此,将OLED掩模板固定在掩膜板框架之前必须保证被固定 的掩模板具有较好的面形。目前业界在制作OLED掩模板的后期掩模板面形测量时,一般是选取接触式或非接触式的测量仪器对若干组测试点进行测量,再将测量得到的结果直接分析或者导入Excel表等数据处理软件进行处理再进行模拟分析,如此操作过程较为麻烦。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种金属掩模板面形测量系统及其测量方法,结合软件直接将金属掩模板的面形测量数据直接模拟生成面形图,较传统的数据处理方法更简单,且通过软件控制可以实现扫描式测量,庞大的数据源更能真实的反应金属掩模板的表面形貌。针对以上问题,本技术提出以下方案—种金属掩模板面形测量系统,其特征在于,包括控制系统,通过软件自动完成对所述金属掩模板的测量;测量元件,对所述金属掩模板板面进行测量,并将测量数据及时反馈回给数据处理系统;数据处理系统,根据测试的数据进行模拟,从而得到金属掩膜板的面形。优选的, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种金属掩模板面形测量系统,其特征在于,包括控制系统,通过软件自动完成对所述金属掩模板的测量;测量元件,对所述金属掩模板板面进行测量,并将测量数据及时反馈回给数据处理系统;数据处理系统,根据测试的数据进行模拟,从而得到金属掩膜板的面形。2.根据权利要求I所述的金属掩模板面形测量系统,其特征在于,所述测量元件为非接触式光学元件。3.根据权利要求2所述的金属掩模板面形测量系统,其特征在于,所述测量元件为激光高度传感器。4.根据权利要求I所述的金属掩模板面形测量系统,其特征在于,所述控制系统控制所述测量元件,对所述金属掩模板板面进行扫描式测...
【专利技术属性】
技术研发人员:魏志凌,高小平,张炜平,
申请(专利权)人:昆山允升吉光电科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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