【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶炉坩埚升降
，具体涉及一种单晶炉埚升快慢速控制机构。
技术介绍
直拉法单晶炉在工作中，坩埚升降运动分为很多个速度等级，可以大致归类为快慢速两种。当前期开炉装料时，坩埚要快速降至最低位；当高温加热熔化硅料时，随着液面的下降，坩埚要不断上升；在拉晶过程中，坩埚要带动熔硅跟随籽晶拉速慢速上升；在晶体生长结束收尾时，坩埚要快速下降，使埚底剩余硅料与固体晶棒脱离。上述众多运动中，前期装料降坩埚至最低埚位时为最高速，坩埚跟随籽晶拉速时为最低速，此两种速度相差大约为1000倍左右，超出伺服电机的调控范围。目前大多数单晶炉埚升机构，普遍采用两个电机来分别控制快慢速运动，通过电磁离合器进行快慢速的切换，此款机构无论从结构、安 装固定、还有电器控制都比较复杂，且安装后精度调整不易保证，不仅影响最终埚升速度的精度，还有可能导致电机，或者减速机，或者电磁离合器由于装配精度差而出故障。
技术实现思路
为了克服上述现有技术存在的缺点，本技术的目的在于提供一种单晶炉埚升快慢速控制机构，具有结构简单、易调节、易控制且埚升速度控制的精度高的特点。为达到上述目的，本技术采用以下技术方案一种单晶炉埚升快慢速控制机构，包括电机1，电机I通过联轴器3与减速机5连接，电机I与减速机5同轴，减速机5输入端安装有第一带轮4，输出端安装有第二带轮6，第一带轮4通过第一皮带7与第三带轮8连接，第三带轮8安装在双向离合器13左端，双向离合器13右端安装有第四带轮10和第五带轮11，第五带轮11安装在第四带轮10的外面，第二带轮6通过第二皮带9与第四带轮10连接，第五带轮11通过第三皮带12将...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉埚升快慢速控制机构，其特征在干包括电机(1)，电机(I)通过联轴器(3)与减速机(5)连接，电机⑴与减速机(5)同轴，减速机(5)输入端安装有第一带轮(4)，输出端安装有第二带轮￠)，第一带轮(4)通过第一皮带(7)与第三带轮(8)连接，第三带轮(8)安装在双向离合器(13)左端，双向离合器(13)右端安装有第四带轮(10)和第五带轮(11)，第三带轮(8)安装在双向离合器(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：时刚，武海军，
申请(专利权)人：西安创联新能源设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。