【技术实现步骤摘要】
本技术涉及ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置。
技术介绍
蓝宝石Ci-Al2O3又称白宝石，具有良好的光学、机械、化学和电性能，被广泛应用于微波电子管介质、波导激光器腔体、精密轴承、红外军事装置、高强激光窗ロ材料和液晶显示投影仪的散热板等方面，同时蓝宝石可用作集成电路的衬底材料，应用于LED产业和微电子电路等方面，是高价镓良好的取代材料，应用于超高速集成电路的制作中。目前，蓝宝石主要的制备方法主要有泡生法、倒模法、热交换法、提拉法、火焰法和坩埚下降法等。泡生法所长晶体质量较好，尺寸较大，成本较低，适用于产业化，规模化的生产。我国在蓝宝石单晶的制备以及炉体的制作方面与先进国家还存在着较大的差距，炉体的机械部分还存在着较多的问题，如机械振动较大，提拉杆的抖动等问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供ー种结构简单，能有效减少了机械泵的震动和机械泵震动传输对炉体的影响，从而使得炉体的震动减少，消除提拉杆的抖动的泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置。为了达到上述目的，本技术采用以下方案—种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在干包括有单晶炉和机械泵，在所述的单晶炉和机械泵之间设有波纹管，在所述的单晶炉的支撑脚底部和机械泵下面设有减震垫。如上所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的减震垫为橡胶减震垫。如上所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的减震垫的厚度为20mm。如上所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于设置在所述的机械泵下...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于包括有单晶炉(I)和机械泵(2)，在所述的单晶炉⑴和机械泵(2)之间设有波纹管(3)，在所述的单晶炉(I)的支撑脚底部和机械泵(2)下面设有减震垫(4)。2.根据权利要求I所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的减震垫(4)为橡胶减震垫。3.根据权利要求I或2所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装置，其特征在于所述的减震垫(4)的厚度为20mm。4.根据权利要求I或2所述的ー种泡生法生长大尺寸蓝宝石单晶炉的机械减震装...
【专利技术属性】
技术研发人员：翟剑庞，成关勇，黄镜蓁，吴焕逸，
申请(专利权)人：中山兆龙光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。