本发明专利技术涉及一种清洗装置，包括用于清洗晶圆的清洗槽，还包括置于清洗槽内的：毛刷装置，用于夹持并刷洗晶圆；喷淋装置，位于毛刷装置的上方；滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆,所述滚筒由皮带带动；检测装置，用于检测所述皮带是否断裂。本发明专利技术采用一检测装置检测带动滚筒转动的皮带的工作状态，及时发现皮带断裂导致滚筒的不转动现象，避免晶圆在洗刷过程中因滚筒不转动带来的不旋转，进而避免毛刷洗刷晶圆表面不均匀所带来的晶圆表面缺陷，从而提高产品质量，减少损失。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体领域， 特别涉及一种清洗装置。
技术介绍
现有技术在晶圆上制作铜互连后，进行化学机械研磨，研磨后一般要进行清洗去除晶圆表面的化学物和杂质，清洗晶圆的装置包括冲洗晶圆的喷淋管、支撑并旋转晶圆的滚筒和刷洗并夹持晶圆的毛刷装置，所述滚筒由马达驱动皮带转动来带动，当马达故障或滚筒卡壳，导致马达不转动的情况时，马达自身的反馈信号可以检测到不均匀的转速而自动报警，从而实时检测到马达故障或滚筒卡壳，清洗装置自动报警，以便及时发现处理故障，但是连接马达的皮带断裂，负载过轻，马达没有反馈信号，清洗装置检测不到皮带断裂也不会产生报警。然而所述清洗晶圆的装置中带动滚筒转动的皮带易损耗、破损、断裂，皮带断裂后不能带动滚筒转动，滚筒停止转动，由于待清洗晶圆由滚筒支撑且夹持在毛刷装置中间，因此也不能旋转，进而使得待清洗晶圆表面在清洗过程中不能被均匀地刷洗，比如，晶圆表面有些区域没有经过刷洗，有些区域过分刷洗，而不均匀地刷洗会在晶圆表面产生缺陷。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种清洗装置，以避免晶圆在清洗过程中产生缺陷，提高产品质量。本专利技术的技术解决方案是一种清洗装置，包括用于清洗晶圆的清洗槽，还包括置于清洗槽内的毛刷装置，用于夹持并刷洗晶圆；喷淋装置，位于毛刷装置的上方；滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆，所述滚筒由皮带带动；检测装置，用于检测所述皮带是否断裂。作为优选所述检测装置包括传感器，所述传感器包括一发射端和一接收端，所述传感器的发射端和接收端位于一侧皮带的正反两面并相向设置。作为优选所述滚筒为多个且位于同一平面上，所述滚筒所在平面位于毛刷装置中间。作为优选所述滚筒为三个。作为优选所述喷淋装置包括喷淋管和连接在喷淋管上的喷嘴，所述喷淋管通过固定夹安装在清洗槽内壁上。作为优选所述毛刷装置还包括带动毛刷旋转的转动装置。与现有技术相比，本专利技术采用一检测装置检测带动滚筒转动的皮带的工作状态，及时发现皮带断裂而导致的滚筒不转动现象，避免晶圆在洗刷过程中因滚筒不转动带来的不旋转，进而避免毛刷洗刷晶圆表面不均匀所带来的晶圆表面缺陷，从而提高产品质量，减少损失。附图说明图I是本专利技术具体实施例的清洗装置的主视图；图2是本专利技术具体实施例的清洗装置的剖面图；图3是本专利技术具体实施例的检测皮带工作状态的检测装置示意图。具体实施例方式本专利技术下面将结合附图作进一步详述在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况 下做类似推广，因此本专利技术不受下面公开的具体实施的限制。其次，本专利技术利用示意图进行详细描述，在详述本专利技术实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是实例，其在此不应限制本专利技术保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。请参阅图I、图2所示，本专利技术提供一种清洗装置，包括用于清洗晶圆I的清洗槽(图中未示)，还包括置于清洗槽内的毛刷装置、喷淋装置4、滚筒2以及检测装置22。毛刷装置由气动阀控制其开关；所述毛刷装置包括间隔一定距离的两个毛刷3，通过气动阀控制两个毛刷3的开关来夹持或放开所述晶圆1，每个毛刷3内贯穿有心轴31，心轴31两端通过接头连接在清洗槽上。心轴31中还设有一个喷淋管32，用于纯水或化学品的喷淋。所述毛刷装置还包括带动毛刷3旋转的转动装置(图中未示)。喷淋装置4位于毛刷装置的上方，包括喷淋管41和连接在喷淋管41上的喷嘴42，所述喷淋管41通过固定夹(图中未示)安装在清洗槽内壁上。滚筒2位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆I。于本实施例中，所述滚筒2为三个，且位于同一平面上。三个滚筒2所在平面位于两毛刷3之间，恰好可以支撑晶圆I在两毛刷3之间转动。如图3所示，所述滚筒2由皮带21带动，所述皮带21可以为一根也可以为多根，多根时相互传动。请继续参考图3所示，所述清洗装置还设有一个检测皮带工作状态的检测装置22，所述检测装置包括传感器，所述传感器包括一发射端221和一接收端222，所述传感器的发射端221和接收端222位于一侧皮带21的正反两面并相向设置，当皮带21为多根时，每根皮带21相应的设有一传感器，皮带21在带动滚筒2转动过程中从发射端221和接收端222的中间穿过，以使得发射端221和接收端222相互配合实时监测皮带21的工作状态，实质上是检测皮带21是否断裂。所述传感器的接收端222连接清洗装置的警报装置，如果检测到皮带21断裂时，所述传感器的接收端222接收到发射端221发射的信号，机器自动产生报警。所述清洗装置的工作过程如下首先，把待清洗的晶圆I穿过两毛刷3之间放在滚筒2上，开启滚筒2带动晶圆I旋转；接着，启动喷淋装置4使化学清洗液喷淋在待清洗晶圆I上；然后，通过气动阀控制毛刷3闭合夹持住所述晶圆1，毛刷闭合后启动毛刷转动装置使其旋转，以洗刷晶圆I ;然后，当所述晶圆I经过毛刷3 —段时间的洗刷后，通过气动阀控制所述毛刷3打开，并关闭喷淋装置4;接着，给心轴31内的喷淋管32通纯水或化学品以对晶圆I做喷洗，并喷洗完成后取出晶圆I。所述检测装置的工作原理如下在滚筒2带动晶圆I旋转过程中，所述传感器的发射端221发射一个信号，当皮带21正常转动，没有断裂，所述传感器的接收端222接收不到发射端221发射的信号；而当皮带21磨损断裂后，所述传感器的接收端222接收到发射端221发射的信号，机器自动产生报警，通知工作人员进行维护更换，从而避免支撑并旋转晶圆I的滚筒2停止转动后，晶圆不旋转，毛刷洗刷晶圆表面不均匀所带来的晶圆表面缺陷。 综上所述，本专利技术采用一检测装置检测带动滚筒转动的皮带的工作状态，及时发现因皮带断裂导致滚筒不转动现象，避免晶圆在洗刷过程中因滚筒不转动带来的不旋转，进而避免洗刷晶圆表面不均匀所带来的晶圆表面缺陷，从而提高产品质量，减少损失。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例，凡依本专利技术权利要求范围所做的均等变化与 修饰，皆应属本专利技术权利要求的涵盖范围。权利要求1.一种清洗装置，包括用于清洗晶圆的清洗槽，其特征在于，还包括置于清洗槽内的 毛刷装置，用于夹持并刷洗晶圆； 喷淋装置，位于毛刷装置的上方； 滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆，所述滚筒由皮带带动； 检测装置，用于检测所述皮带是否断裂。2.根据权利要求I所述的清洗装置，其特征在于所述检测装置包括传感器，所述传感器包括一发射端和ー接收端，所述传感器的发射端和接收端位于ー侧皮带的正反两面并相向设置。3.根据权利要求I所述的清洗装置，其特征在于所述滚筒为多个且位于同一平面上，所述滚筒所在平面位于毛刷装置中间。4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于所述滚筒为3个。5.根据权利要求I所述的清洗装置，其特征在于所述喷淋装置包括喷淋管和连接在喷淋管上的喷嘴，所述喷淋管通过固定夹安装在清洗槽内壁上。6.根据权利要求I所述的清洗装置，其特征在于所述毛刷装置还包括带动毛刷旋转的转动装置。全文摘要本专利技术涉及一种清洗装置，包括用于清洗晶圆的清洗槽，还包括置于清洗槽内的毛刷装置，用于夹持并刷洗晶圆；喷淋装置，位于毛刷装置的上方；滚筒，位于毛刷装置的下方，支撑并旋转晶圆本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：董呈龙，
申请(专利权)人：上海宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。