微流体喷涂薄膜成形装置及其方法制造方法及图纸

一种微流体喷涂薄膜成形方法，用以在一基板上形成薄膜组件，其特征在于，其步骤包含：　　　　使该基板受到持续性的一波动而产生持续振动；　　　　分布多个微液滴于该基板表面；及　　　　使该微液滴在持续振动的该基板表面固化成膜，通过振动来破坏该微液滴附着于该基板的表面张力，进而破坏该微液滴所含的溶质堆积于该微液滴边缘的机制。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种薄膜成形装置及其方法，尤其涉及一种应用于喷墨工艺的。
技术介绍
喷墨打印技术是一种精细、再现性高的涂布工艺，可应用于各种不同材料的精密组件喷印成形。但是使用喷墨法制作高分辨率的薄膜组件需要相当精确的位置定位，方能将微液滴喷涂在预定的位置上，同时附着于基材的微液滴需将其所包含的溶剂(水、有机溶剂等)挥发才能固化形成薄膜，然而挥发过程中的物理现象将影响薄膜的均匀性。微液滴在基材上具有固态(基板)、液态(液滴)和气态(挥发气体)三相，其中，固态与液态接触线的区域能量比液态与气态接触线区域的能量低(散热快)，此外固态与液态接触线的区域蒸气压比液态与气态接触线区域的蒸气压低，因此形成液滴周围比液滴中心容易固化的现象，使薄膜产生中心低四周高的情形，一般称为咖啡环(coffee ring)，这种不平坦的结构对于功能性组件具有严重的伤害。因此，喷墨方法制作组件主要的问题为薄膜的不均匀性(inhomogeneous)，其次为喷墨涂布干燥的过程中所容易导致的相分离(Phase Separation)。上述问题皆会影响组件的品质和合格率，特别是在制作高分辨率组件的情形下，使得用喷墨法制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：郑兆凯，吕春福，邱琬雯，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：