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微流体喷涂薄膜成形装置及其方法制造方法及图纸
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文档序号:775276
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一种微流体喷涂薄膜成形方法,用以在一基板上形成薄膜组件,其特征在于,其步骤包含: 使该基板受到持续性的一波动而产生持续振动; 分布多个微液滴于该基板表面;及 使该微液滴在持续振动的该基板表面固化成膜,通过振动来破坏该微液滴...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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