光学部件及其制造方法技术

本发明专利技术提供能够以低成本制造，并且能够实现高的光学功能的光学部件，光学部件（1）具备第一透光性构件（11）、第二透光性构件（12）、光学功能膜（13），光学功能膜（13）设置在第一透光性构件（11）与第二透光性构件（12）之间，光学功能膜（13）具有第一多层膜（13a）、第二多层膜（13b）、粘接剂层（13c），第一多层膜（13a）形成在第一透光性构件（11）上，第二多层膜（13b）形成在第二透光性构件（12）上，粘接剂层（13c）粘接第一多层膜（13a）和第二多层膜（13b）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及。
技术介绍
当前，在光通信系统等中，广泛使用分离规定波长区域的光的波长分离元件。作为波长分离元件的具体例子，例如可以举出在下述专利文献I 3等中公开的元件。例如，在下述专利文献I中，作为波长分离元件，公开了图10表示的分色镜100。分色镜100具有分别为三角柱形的第一棱镜以及第二棱镜101、102。在第一棱镜101的斜面IOla上形成由多重膜构成的反射涂层103。另一方面，在第二棱镜102的斜面102a上形 成SiO2涂层104。而且，由粘接剂层105粘接SiO2涂层104和反射镜涂层103。在该分色镜100中实现波长分离功能的是反射镜涂层103。SiO2涂层104是为了提高反射镜涂层103与第二棱镜102之间的粘接性而设置的。现有技术文献专利文献专利文献I :特开2006 - 154388号公报专利文献2 :特开2009 - 139653号公报专利文献3 :特开2006 - 208701号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题而近年来，在波长分离元件中分离的波长区域之间的波长差减小。因而，在波长分离元件中所要求的波长分离特性变得更高。具体地讲，强烈要求提高波长分离元件的滤波特性的陡峭性。例如，在上述分色镜100中，为了满足这样的要求，需要增多构成反射涂层103的多层膜的层数。然而，如果要增多构成反射镜涂层103的多层膜的层数，则在反射镜涂层103的制造中所需要的时间以及制造成本格外升高，同时，存在反射镜涂层103的良品率降低的倾向。从而，难以适应近年来低成本化的要求。另外，在增多构成反射镜涂层103的多层膜的层数方面存在装置的限制。即，根据成膜装置的规格，不能够形成由层数非常多的多层膜构成的反射镜涂层103。从而，在分色镜100中难以实现高的波长分离功能。另外，在波长分离元件以外的光学部件中也在透光性构件之间设置多层膜的情况下，存在与上述分色镜100同样的课题，为了实现高的光学功能，需要增多多层膜的层数。从而，难以兼顾高光学功能与低成本，难以进一步实现高光学功能。本专利技术是鉴于这样的问题点而完成的，其目的在于提供能够以低成本制造的同时，能够实现高光学功能的光学部件。用于解决课题的技术手段本专利技术的光学部件具备第一透光性构件、第二透光性构件、光学功能膜。光学功能膜设置在第一透光性构件与第二透光性构件之间。光学功能膜具有第一多层膜、第二多层膜、粘接剂层。第一多层膜形成在第一透光性构件上。第二多层膜形成在第二透光性构件上。粘接剂层将第一多层膜与第二多层膜粘接。另外，在本专利技术中，所谓“多层膜”指的是由层叠了的多个层构成的膜。另外，本专利技术的光学部件的制造方法涉及用于制造本专利技术的光学部件的方法。本专利技术的光学部件的制造方法具备第一和第二多层膜形成工序和粘接工序。第一多层膜形成工序是在第一透光性构件上形成第一多层膜的工序。第二多层膜形成工序是在第二透光性构件上形成第二多层膜的工序。粘接工序是通过粘接剂层粘接第一多层膜与第二多层膜的工序。这样，在本专利技术中，光学功能膜具备在第一透光性构件上形成的第一多层膜、在第二透光性构件上形成的第二多层膜。从而，能够制作具有超过了能够由成膜装置成膜的层数限制的层数的光学功能膜。具体地讲，如果将能够由成膜装置成膜的层数的最大值记为n，则通过用粘接剂层粘接层数为n的第一多层膜与层数为n的第二多层膜，实质上能够制作层数为2n的多层膜，其结果是，能够实现高的光学功能。具体地讲，在光学的功能膜是例如透射第一波长区域的光，另一方面，反射与第一波长区域不同的第二波长区域的光的光学分离膜的情况下，能够实现滤波特性的陡峭性高的光学部件。另外，本专利技术的光学部件由于光学功能膜具备第一多层膜和第二多层膜，因此与仅在第一和第二透光性构件的某一个上形成多层膜的情况相比较，能够缩短多层膜形成所需要的时间。例如，在光学功能膜具有大约40层的多层膜的情况下，现有技术中在多层膜的形成中需要大约6个小时左右的时间。相对于这一点，分别将第一、第二多层膜取为大约20层，如果同时形成它们，则在第一和第二多层膜的形成中所需要的时间成为大约3个小时。如果这样做，则由于能够缩短光学功能膜的制作中所需要的时间，因此还能够降低光学部件的制造中所需要的时间以及制造成本。另外，从减小制造所需要的时间以及制造成本的观点出发，最好使第一多层膜的至少一部分成为与第二多层膜相同的膜结构。这种情况下，能够在同一个工序中成膜第一多层膜的一部分和第二多层膜。进而，最好是第一多层膜和第二多层膜具有相同的膜结构。这种情况下，如果在同一个工序中进行形成第一多层膜的第一多层膜形成工序和第二多层膜形成工序，则能够进一步减少多层膜制造所需要的时间以及制造成本。另外，所谓“在同一个工序中进行第一多层膜形成工序和第二多层膜形成工序”意味着在某个成膜装置内，配置第一和第二透光性构件或者第一和第二透光性构件的母材，在该一个成膜装置内同时形成第一多层膜和第二多层膜。在本专利技术中，第一和第二多层膜的每一个的层数都比光学功能膜少。从而，与一起制作层数多的光学功能膜的情况相比较，能够以高良品率制造光学部件。另外，一般如果多重膜的层数增多，则多层膜的良品率大幅度降低。另外，在透光性构件上形成多层膜的情况下，如果多层膜的层数增多，则多层膜的膜应力增大。本专利技术的光学部件由于在第一和第二透光性构件的每一个上形成第一和第二多层膜，因此与仅在第一或者第二透光性构件上形成层数多的多层膜的情况相比较，难以在第一和第二透光性构件上残留应力。从而，第一和第二透光性构件的接合精度提高，进而，在分断第一和第二透光性构件的母材时，能够抑制母材的变形等。从而，能够以高的形状精度制造光学部件。另外，本专利技术的光学部件由于在第一透光性构件的表面和第二透光性构件的表面的双方上形成多层膜，因此不需要例如像上述专利文献I中记载的那样，为了提高粘接性而另外形成SiO2涂层。本专利技术中，第一和第二透光性构件的每一个是透射对于光学部件入射的光的至少一部分的构件。即，第一和第二透光性构件的每一个是透射光学部件的使用波长区域的光的构件。光学部件的使用波长板域不限于可见波长区域。光学部件的使用波长区域例如也可以是紫外波长区域、近紫外波长区域、近红外波长与或者红外波长区域。即，第一和第二透光性构件的每一个也可以是不透射可见光的构件。另外，在本专利技术中，所谓“透射”在以波长分离为目的的情况下，指的是以大于等于85%的透射率透射，在以光量分支为目的的 情况下，指的是以任意的透射率透射。第一和第二透光性构件的每一个的材质没有特别限定。第一和第二透光性构件的每一个例如也可以是由玻璃、树脂或者陶瓷构成的构件。第一和第二透光性构件最好是由玻璃构成的构件。玻璃的光学特性的温度依赖性、耐湿性等可靠性良好，能够通过延伸成型、研磨加工制作高精度的母材。从而，通过由玻璃形成第一和第二透光性构件，能够实现高的生产性。第一和第二透光性构件的每一个的形状尺寸也没有特别限定。第一和第二透光性构件的每一个例如既可以是棱镜也可以是平板，还可以是透镜。另外，第一和第二透光性构件的每一个例如也可以是光出入面具有光能量(光功率)的棱镜等光学元件。另外，在本专利技术中，所谓“棱镜”指的是具有三角形的一对端面和3个侧面的大致三角柱形的透光性构件。棱镜的各个端面也可以不是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2009.12.15 JP 2009-2835741.一种光学部件，其特征在于，具备 第一透光性构件； 第二透光性构件；和 设置在所述第一透光性构件与所述第二透光性构件之间的光学功能膜， 所述光学功能膜具有形成在所述第一透光性构件上的第一多层膜、形成在所述第二透光性构件上的第二多层膜和粘接所述第一多层膜和所述第二多层膜的粘接剂层。2.根据权利要求I所述的光学部件，其特征在于 所述第一多层膜的最靠近所述粘接剂层一侧的第一最外层和所述第二多层膜的最靠近所述粘接剂层一侧的第二最外层中的至少一个层，具有与所述粘接剂层实质上相同的折射率。3.根据权利要求2所述的光学部件，其特征在于 所述第一最外层和所述第二最外层均具有与所述粘接剂层实质上相同的折射率。4.根据权利要求2或3所述的光学部件，其特征在于 所述第一多层膜和所述第二多层膜均是交替层叠具有相对低的折射率的低折射率层和具有相对高的折射率的高折射率层而得的多层膜， 所述第一最外层和所述第二最外层中的至少一个层是所述低折射率层。5.根据权利要求4所述的光学部件，其特征在于 构成所述第一最外层和所述第二最外层中的至少一个层的低折射率层包括氟化镁、氧化硅、氧化铝。6.根据权利要求I 5中任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：山口义正，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：