带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，所述夹具本体包括上夹具和下夹具，在所述上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器，所述压力传感器与压力显示设备连接。本实用新型专利技术能够实现现有设备不具备的压力测量功能，通过压力测量，操作人员进行等离子刻蚀机夹具夹硅片的过程中，对于夹具给硅片的压力大小有一个合理的数值，这样不会发生夹的过松，硅片之间有间隙；或者夹的过紧，使硅片碎裂的情况。减少生产碎片率，同时提高晶体太阳能电池片的效率，提高效益，减少了资源浪费，实现了本设计的目的。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种等离子刻蚀技术中的带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具。
技术介绍
等离子刻蚀是现代晶体硅太阳能电池生产不可缺少的部分。现有的等离子刻蚀机的夹具并没有压力测量装置，由于硅片的薄厚不是固定的，所以在等离子刻蚀夹硅片的过程中操作人员不知道硅片受到夹具压力的大小，如果夹的过松，硅片之间有间隙，这样会导致刻蚀的深度变深会影响电池片的效率；如果夹的过紧就会出现硅片损坏，这样将会增大碎片率，减少利润。因此，特别需要一种带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，这样就能解决夹片过程中出现上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，以解决现有技术中不方便控制夹具力度的问题。为了实现上述目的，本技术的技术方案如下带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，所述夹具本体包括上夹具和下夹具，其特征在于，在所述上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器，所述压力传感器与压力显示设备连接。在本技术的一个优选实施例中，所述压力传感器的下端设置有一隔板。本技术能够实现现有设备不具备的压力测量功能，通过压力测量，操作人员进行等离子刻蚀机夹具夹硅片的过程中，对于夹具给硅片的压力大小有一个合理的数值，这样不会发生夹的过松，硅片之间有间隙；或者夹的过紧，使硅片碎裂的情况。减少生产碎片率，同时提高晶体太阳能电池片的效率，提高效益，减少了资源浪费，实现了本设计的目的。本技术的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。附图说明图I为本技术的上夹具夹持面的示意图。图2为本技术的使用状态示意图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例进一步阐述本技术。如图I和2所示，带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，夹具本体包括上夹具100和下夹具200，在上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器110，压力传感器110均布在上夹具的夹持面上。压力传感器110与压力显示设备300连接。压力传感器的下端设置有一隔板400。使硅片500和压力传感器110均匀受力。当夹具中放有硅片500，把上夹具盖好，开始旋转螺母压缩硅片500，压力显示设备300就会显示一个数值，当压力达到合理大小时，停止旋转螺母，完成压缩硅片。本技术能够实现现有设备不具备的压力测量功能，通过压力测量，操作人员进行等离子刻蚀机夹具夹硅片的过程中，对于夹具给硅片的压力大小有一个合理的数值，这样不会发生夹的过松，硅片之间有间隙；或者夹的过紧，使硅片碎裂的情况。减少生产碎 片率，同时提高晶体太阳能电池片的效率，提高效益，减少了资源浪费，实现了本设计的目的。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术的范围内。本技术要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.带有压力测量装置的等离子刻蚀机夹具，包括夹具本体，所述夹具本体包括上夹具和下夹具，其特征在于，在所述上夹具的夹持面上设置有若干压力传感器...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘重阳，
申请(专利权)人：上海莹利光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：