晶体硅太阳能电池PECVD工艺仓室用盖板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶体硅太阳能电池PECVD工艺仓室用盖板，包括盖板本体和设置在盖板本体内侧面的加热板组件，加热板组件通过连接件与盖板本体连接，在盖板本体和加热板组件下部之间设置有耐高温金属薄板，该耐高温金属薄板与加热组件和盖板之间均是采用可拆卸连接。耐高温金属薄板既不会影响加热组件的更换也不会损坏到盖板本体的完整性。确保耐高温金属薄板与盖板和加热组件间的空隙尽量小，这样氮化硅颗粒就不会掉落到密封圈上，只需要在关盖前将耐高温金属薄板清理干净即可。本实用新型专利技术结构简单，清理方便。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及ー种晶体硅太阳能电池PECVDエ艺仓室用盖板。
技术介绍
在晶体硅太阳能电池生产中平板式PECVD每120小时需要开启エ艺仓室进行石英 管更换和仓室清理。整个清理更换过程需要四十分钟左右，但往往关盖侧漏的过程可能要耗费ー个多小时，如图I所示，仓室盖板包括盖板本体I和设置在盖板本体内侧面的加热板组件2，加热板组件通过连接件3与盖板本体连接，因为仓室盖板上有大量的氮化硅颗粒6，关盖时，仓室盖板的抖动将氮化硅颗粒6抖落到仓室4的密封圈5上。这会严重影响仓室的密封性，在仓室盖板关上的过程中，发现有颗粒掉到仓室内侧的密封圈上时再去清理，有着极大的安全隐患，因为这个仓盖连同加热组件有ー吨重，如果出现意外，人是无法承受其压力的。如果不进行清理则可能会影响到仓室的密封性，甚至需要再次开盖进行二次清洁。为了防止这种情况的发生，通常可以在关盖前对加热组件后面的氮化硅进行细致的清除，但由于加热组件与盖板之间空间小，不方便清理，这会大大延长清理的时间，进而影向到生产。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶体硅太阳能电池PECVDエ艺仓室用盖板，以解决现有技术中仓室盖板清理不方便的问题。为了实现上述目的，本技术的技术方案如下晶体硅太阳能电池PECVDエ艺仓室用盖板，包括盖板本体和设置在盖板本体内侧面的加热板组件，加热板组件通过连接件与盖板本体连接，其特征在于，在盖板本体和加热板组件下部之间设置有耐高温金属薄板，该耐高温金属薄板与加热组件和盖板之间均是采用可拆卸连接。在本技术的一个优选实施例中，耐高温金属薄板通过螺栓连接到加热组件与盖板上。耐高温金属薄板既不会影响加热组件的更换也不会损坏到盖板本体的完整性。确保耐高温金属薄板与盖板和加热组件间的空隙尽量小，这样氮化硅颗粒就不会掉落到密封圈上，只需要在关盖前将耐高温金属薄板清理干净即可。本技术具有结构简单，清理方便。本技术的特点可參阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。附图说明图I为现有技术中的仓室盖板使用状态示意图。图2为图I中的仓室的俯视图。图3为本技术的结构示意图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例进ー步阐述本技术。如图3所示，晶体硅太阳能电池PECVDエ艺仓室用盖板，包括盖板本体100和设置在盖板本体内侧面的加热板组件200，加热板组件200通过连接件400与盖板本体100连接。在盖板本体和加热板组件下部之间设置有耐高温金属薄板300，该耐高温金属薄板300与加热组件和盖板之间均是采用可拆卸连接。在本实施例中，耐高温金属薄板通过螺栓连接到加热组件与盖板上。耐高温金属薄板既不会影响加热组件的更换也不会损坏到盖板本体的完整性。确保耐高温金属薄板与盖板和加热组件间的空隙尽量小，这样氮化硅颗粒就不会掉落到密封圈上，只需要在关盖前将耐高温金属薄板清理干净即可。以上显示和描述了本技术的基本原理、主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中 描述的只是本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术的范围内。本技术要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶体硅太阳能电池PECVDエ艺仓室用盖板，包括盖板本体和设置在盖板本体内侧面的加热板组件，加热板组件通过连接件与盖板本体连接，其特征在于，在盖板本体和加热板组件下部之间设置有耐高温金...

【专利技术属性】
技术研发人员：王利，
申请(专利权)人：上海莹利光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：