【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种电子和光伏领域,具体涉及硅烷生产过程中的一种精馏装置。
技术介绍
硅烷生产过程中,原料含有大量的杂质,其中有H20、NH3等,作为电子级硅烷,其中的H2CX O. 5ppm, NH3 O. lppm。H2O可以通过分子筛干燥吸附,NH3必须采用低温精懼分离。 NH3通常情况下是有刺激性的无色气体,极易溶于水,易液化,液氨可作致冷剂。密度O. 771 克/升,比空气轻,沸点(一 33. 35°C),溶点(一 77. 7°C)。原有低温精馏塔由筒体、换热管、管板、冷媒进出口等组成,管程走冷却汽体,壳程走冷媒。汽氨经换热管同冷媒进行热交换,冷却回流到反应器。这种列管结构的精馏塔优点是结构简单,设备制作不复杂。原有精馏塔缺点非常明显,由于汽体在列管内流速较快,热交换不充分,有部分 NH3没有冷却回流到反应器,气体在换热管内的热交换方程如下管壳传热方程Q=KAAt总传热系数l/K=l/ho+l/hi+do/di+ro+rido/di+rwdo/dav管内传热膜系数hi=JHcpGi(cpy/A)-2/3(y/yw) —°_14其中K总传热系数 A—换热器 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:徐昕,郑春宁,尤向东,何波,
申请(专利权)人:南京亚格泰新能源材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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