【技术实现步骤摘要】
本技术涉及乙硅烷制备设备，尤其涉及一种乙硅烷纯化用制备装置。
技术介绍
1、乙硅烷主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、化学气相沉积等方面，为沉积源时，沉积层为氧化硅或氮化硅，与硅烷相比，乙硅烷具有沉积速度更快、沉积温度更低的特点，可防止无定型硅中产生球状凸起，能够提高沉积成的均一性，主要使用在20纳米以下高端芯片的制造；
2、在现有文件cn115006959a中，现有的乙硅烷纯化过滤只是通过单一一种吸附剂进行吸附过滤，过滤效果差，得到的气体纯度较低，且传统的纯化装置通常依赖于基本的蒸馏塔和手动或半自动的控制系统来进行物质的分离和纯化，因此，本技术提出一种乙硅烷纯化用制备装置以解决现有技术中存在的问题。
技术实现思路
1、针对上述问题，本技术的目的在于提出一种乙硅烷纯化用制备装置，该乙硅烷纯化用制备装置将气体导入制备箱中，利用螺旋导向板将缓慢进入的气体进行杂质去除，进入制备箱后通过收集箱进行一级纯化，以去除重组分杂质，通过使用吸附过滤网，对气体进行进一步分离氢气，再...
【技术保护点】
1.一种乙硅烷纯化用制备装置，包括制备箱(1)、纯化组件和收集组件，其特征在于：所述制备箱(1)的内部固定安装有纯化组件，所述制备箱(1)的一侧固定安装有收集组件，所述纯化组件包括收集箱(2)、冷凝器(3)、隔板(4)、制冷器(5)、探温针(6)和温度测量器(7)，所述制备箱(1)的内部固定安装有收集箱(2)所述收集箱(2)的一侧固定安装有冷凝器(3)，所述收集箱(2)的内部固定安装有隔板(4)，所述冷凝器(3)的下方固定安装有制冷器(5)，所述隔板(4)将收集箱(2)内部进行分隔，所述收集箱(2)的内部固定安装有探温针(6)，所述制备箱(1)的外侧固定安装有温度测量
<...【技术特征摘要】
1.一种乙硅烷纯化用制备装置，包括制备箱(1)、纯化组件和收集组件，其特征在于：所述制备箱(1)的内部固定安装有纯化组件，所述制备箱(1)的一侧固定安装有收集组件，所述纯化组件包括收集箱(2)、冷凝器(3)、隔板(4)、制冷器(5)、探温针(6)和温度测量器(7)，所述制备箱(1)的内部固定安装有收集箱(2)所述收集箱(2)的一侧固定安装有冷凝器(3)，所述收集箱(2)的内部固定安装有隔板(4)，所述冷凝器(3)的下方固定安装有制冷器(5)，所述隔板(4)将收集箱(2)内部进行分隔，所述收集箱(2)的内部固定安装有探温针(6)，所述制备箱(1)的外侧固定安装有温度测量器(7)。
2.根据权利要求1所述的一种乙硅烷纯化用制备装置，其特征在于：所述收集组件包括废气箱(8)、连接管(9)和控制阀(10)，所述制备箱(1)的一侧固定安装有废气箱(8)，所述收集箱(2)的一侧固定连接着连接管(9)，所述连接管(9)将废气箱(8)和收集箱(2)进行相互连接，所述连接管(9)...
【专利技术属性】
技术研发人员：王友军，葛月月，
申请(专利权)人：南京亚格泰新能源材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。