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本技术公开一种乙硅烷纯化用制备装置，包括制备箱、纯化组件和收集组件，所述制备箱的内部固定安装有纯化组件，所述制备箱的一侧固定安装有收集组件，通过纯化组件的设置便于对乙硅烷的进行纯化使用，通过收集组件对纯化后产生的废气进行收集使用，所述纯化组...
该专利属于南京亚格泰新能源材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京亚格泰新能源材料有限公司授权不得商用。

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