近红外线截止滤光片制造技术

本发明专利技术通过以不影响光学特性的方式设置可有效地阻断从基板玻璃释放出的α射线的薄膜状衰减层，以低成本提供也能够作为固体摄像元件封装体用覆盖玻璃使用的近红外线截止滤光片。本发明专利技术的特征是在由含有CuO的氟磷酸盐类玻璃或含有CuO的磷酸盐类玻璃构成的基板玻璃的至少一侧的透光面形成有用于使从该基板玻璃释放的α射线衰减的薄膜状衰减层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及可用于固体摄像元件封装体用覆盖玻璃的近红外线截止滤光片，所述固体摄像元件封装体用覆盖玻璃安装于收纳固体摄像元件的封装体的前面开ロ部，且在保护固体摄像元件的同时作为透光窗使用。
技术介绍
近年来，随着具备搭载CCD或CMOS等固体摄像元件的光学功能部件的相机的小型化、薄型化和低价格化的急速发展，所搭载的以相机组件为代表的光学功能部件也在进行小型化和薄型化或者部件的削減。这种光学功能部件主要由下述构件构成用于将图像聚光并导入固体摄像元件的由玻璃材料或塑料材料形成的透镜、含有用于校正偏红色调的金属配合物的近红外线截止滤光片、用于减少莫尔条纹及假色的低通滤光片、和为保护固体摄像元件而被气密密封入固体摄像元件封装体的覆盖玻璃等。这里所用的覆盖玻璃当玻璃中含有α射线放射性元素(放射性同位素)吋，由于释放α射线而导致固体摄像元件发生ー过性的误动作(软错误)。因此，制造玻璃时需要使用玻璃中作为杂质含有的α射线释放性元素尽可能少、纯化至高纯度的玻璃原料，并且在熔融エ序中也要防止这些元素的混入。在上述光学功能部件的结构中，为获得各种特性而受到部件厚度的限制，所以难以实现薄型化，结果存在限制相机主体的小型化等问题。于是，日本专利特开平7-观1021号公报(參照专利文献1)提出了使用近红外线截止滤光片作为覆盖玻璃。根据该公报，通过使近红外线吸收玻璃中的U和Th的含量为ー 定值以下，能够抑制固体摄像元件的软错误。因此，能够提供将覆盖玻璃和近红外线截止滤光片的功能复合化的固体摄像元件用保护滤光片，被认为软错误少且可实现小型轻量化， 还能够期待成本的削減。现有技术文献专利文献专利文献1 日本专利特开平7-观1021号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题但是，由于U和Th的含量少的纯化至高纯度的玻璃原料在其纯化工序中需要大量的人工及专用的纯化设备而原料成本高，而且为了避免从玻璃制造エ序混入含放射性同位素的杂质，需要使用由钼类材质形成的熔融炉或坩埚，成为制造成本増加的主要原因。此外，对于难以进行α射线放射性元素的纯化分离的Ti02、Zr02.玻璃原料，会产生制造设备的与玻璃原料接触的位置及对在玻璃原料本身中的使用进行控制等限制。本专利技术是鉴于上述情况而完成的专利技术，其目的在于以低成本提供即使在使用以ー定量释放出α射线的基板玻璃作为近红外线截止滤光片的构成构件吋，也可通过以不影响光学特性的方式设置可有效地阻断从基板玻璃释放出的α射线的薄膜状衰减层而作为固体摄像元件封装体用覆盖玻璃使用的近红外线截止滤光片。解决技术问题所采用的技术方案一直以来，为了使用由氟磷酸盐类玻璃或磷酸盐类玻璃形成的近红外了线截止滤波片作为固体摄像元件封装体用覆盖玻璃，仅对如上所述的通过使用高纯度的玻璃原料而对从玻璃释放出的α射线量进行严格管理的方法进行研究。对于这一点，本专利技术人发现在允许从作为近红外线截止滤光片的构成构件的基板玻璃释放出一定量的α射线的同吋，通过在基板玻璃表面形成不影响光学特性的薄膜状衰减层，从而使从基板玻璃释放出的α射线衰减，藉此在将近红外线截止滤光片用于固体摄像元件封装体用覆盖玻璃吋，也能够可靠地抑制固体摄像元件的误动作的发生。S卩，本专利技术的近红外线截止滤光片的特征是，在由含有CuO的氟磷酸盐类玻璃或含有CuO的磷酸盐类玻璃构成的基板玻璃的至少ー侧的透光面形成有用于使从该基板玻璃释放的α射线衰减的薄膜状衰减层。此外，本专利技术的特征是，上述薄膜状衰减层通过CVD法、溅射法、离子辅助蒸镀法、 涂覆法中的任一方法形成。此外，本专利技术的特征是，上述薄膜状衰减层具有防反射、红外线截止、紫外线及红外线截止中的至少任ー种功能。此外，本专利技术的特征是，上述薄膜状衰减层的密度(g/cm3) X膜厚(ym)为2 50。此外，本专利技术的特征是，通过对上述基板玻璃的端面进行倒角加工，并对该倒角加 エ部分进行蚀刻处理，从而使倒角部分的棱线部的裂纹长度的最大值为0. 02mm以下，并且近红外线截止滤光片的弯曲强度为65N/mm2以上。此外，本专利技术的特征是，在上述基板玻璃的一侧的透光面形成有薄膜状衰减层，在另ー侧的透光面形成有应カ松弛层，当上述薄膜状衰减层中产生的内部应カ为压缩应力吋，使得应カ松弛层的内部应カ为相同程度的压缩应力，当上述薄膜状衰减层中产生的内部应カ为拉伸应力吋，使得应カ松弛层的内部应カ为相同程度的拉伸应力。此外，本专利技术的特征是，上述基板玻璃的α射线释放量为0. 05 1. Oc/cm2 · h。此外，本专利技术的特征是，上述近红外线截止滤光片的用下式求得的α射线衰减率为20%以上。将来自未设置薄膜状衰减层时的基板玻璃的α射线释放量记为、将来自设有薄膜状衰减层时的基板玻璃的α射线释放量记为时，将由(_)/算出的值称为α射线衰减率。此外，本专利技术的固体摄像元件封装体用覆盖玻璃为贴附于固体摄像元件封装体的开ロ部的固体摄像元件封装体用覆盖玻璃，其特征是，由上述近红外线截止滤光片构成，该近红外线截止滤光片在上述固体摄像元件封装体用覆盖玻璃的与上述固体摄像元件相对的透光面形成有薄膜状衰减层。此外，本专利技术的固体摄像元件封装体的特征是，在收纳有固体摄像元件的固体摄像元件封装体的开ロ部安装有上述近红外线截止滤光片作为覆盖玻璃。该固体摄像元件封装体中，形成于近红外线截止滤光片的薄膜状衰减层较好是以与上述固体摄像元件相対的方式安装。专利技术的效果根据本专利技术，能够以低成本提供即使在使用以一定量释放出α射线的基板玻璃作为近红外线截止滤光片的构成构件吋，也可通过以不影响光学特性的方式设置可有效地使从基板玻璃释放出的α射线衰减的薄膜状衰减层而作为固体摄像元件封装体用覆盖玻璃使用的近红外线截止滤光片。附图的简单说明附图说明图1是将本专利技术的近红外线截止滤光片贴附于固体摄像元件封装体的一种实施方式的剖视图。图2是将本专利技术的近红外线截止滤光片贴附于固体摄像元件封装体的另ー种实施方式的剖视图。图3是表示本专利技术的近红外线截止滤光片的制造方法的一种实施方式的流程图。 具体实施例方式下面，对于本专利技术的近红外线截止滤光片的实施方式进行说明。图1及图2是将本专利技术的近红外线截止滤光片1安装于固体摄像元件封装体4的各实施方式的剖视图。近红外线截止滤光片1具有矩形板状的外观形状，由可透射可见光且将近红外线截止的基板玻璃2和设置于基板玻璃2的与固体摄像元件5相対的透光面的薄膜状衰减层 3构成。基板玻璃2虽然会由于玻璃組成中含有作为杂质的放射性同位素而释放出α射线，但该α射线会通过形成于基板玻璃2的薄膜状衰减层3而衰减。由此，即使将采用了释放α射线的基板玻璃2的近红外线截止滤波片1安装在固体摄像元件封装体4，也能够抑制α射线到达固体摄像元件5，因此由α射线引起的固体摄像元件5的误动作的可能性降低。基板玻璃2由含CuO的氟磷酸盐类玻璃或含CuO的磷酸盐类玻璃形成。数码静态相机或摄像机中使用的CXD或CMOS等固体摄像元件5具有从可见光区域到IlOOnm附近的近红外区域的光谱灵敏度。因此，直接使用的话将无法获得良好的色彩再现性，所以必须使用吸收红外线区域的滤光片校正至通常的感光灵敏度。因此，通过使用由上述玻璃組成形成的基板玻璃2，能够适当地截止近红外线。氟磷酸盐类玻璃具有优良的耐候性，通过在玻璃中添加CuO，可以在维本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：上条克司，星野创，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：