喷嘴及其制造方法技术

技术编号：7570109 阅读：161 留言：0更新日期：2012-07-15 03:29

本发明专利技术公开了一种喷嘴及其制造方法。所述方法包括以下步骤：(a)提供第一材料，该第一材料能够经历多光子反应；(b)采用多光子过程在所述第一材料内形成第一微结构化图案；(c)在不同于所述第一材料的第二材料中复制所述第一微结构化图案以制作第一模具，该第一模具包括在所述第二材料中的第二微结构化图案；(d)在不同于所述第一材料和所述第二材料的第三材料中复制所述第二微结构化图案以制作第二模具，该第二模具包括在所述第三材料中的包括多个微结构的第三微结构化图案；(e)采用与所述第三材料不同的第四材料层使所述第二模具的第三微结构化图案平整化，其中所述层使在第三微结构化图案中的所述多个微结构中的微结构顶部暴露；和(f)去除所述第三材料获得在所述第四材料中具有多个孔的喷嘴，其中所述孔对应于所述第三微结构化图案中的所述多个微结构。