一种太阳能电池晶片的加工方法技术

本发明专利技术公开了一种太阳能电池晶片的加工方法，包括清洗、甩干、扩散、刻蚀、去PSG、复甩干、PECVD、丝网印刷、高温烧结、成品分选和打包的工艺流程。本发明专利技术的有益效果：产品不存在水痕水纹和粘片，刻蚀后片子的温度合适，边缘及整体亮度和刻蚀宽度适中，片内无色差，印刷图形的质量好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及加工生产领域中的一种晶片的加工方法，特别涉及。
技术介绍
考虑太阳能电池晶片的质量优劣，主要考虑如下几个因素脱水性能、是否存在水痕水纹和粘片；甩干后是否带水及甩干机是否碎片；刻蚀后片子的温度、边缘及整体亮度和刻蚀宽度；气孔是否均勻及片内色差；印刷图形的质量等，现有太阳能电池晶片的加工方法在这些方面做得不够，如存在色差、晶片内有气泡或刻蚀宽度不一等。
技术实现思路
针对现有太阳能电池晶片加工方法的缺陷，本专利技术提供了。为了实现上述目的，本专利技术所采取的措施是，加工方法依次包括以下步骤清洗、甩干、扩散、 刻蚀、去PSG、复甩干、PECVD、丝网印刷、高温烧结、成品分选和打包；所述清洗步骤中，依次包括以下步骤预清洗、漂洗、制绒、连续漂洗、酸洗、漂洗、 去氧化层、漂洗和喷淋；所述甩干和复甩干步骤中采用的甩干机的温度为140°C，转速为300，喷氮时间为 300 秒；所述扩散步骤中，依次包括以下步骤放舟、连续升温、恒温、连续扩散、深扩散、降温与氧钝化和取舟；所述刻蚀步骤中，依次包括以下步骤预抽、主抽、送气、恒压、辉光、清洗和充气；所述去PSG步骤中，依次包括以下步骤酸洗、连续漂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈一鸣，
申请(专利权)人：温州索乐新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：