下载一种太阳能电池晶片的加工方法的技术资料

文档序号:7543872

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本发明公开了一种太阳能电池晶片的加工方法,包括清洗、甩干、扩散、刻蚀、去PSG、复甩干、PECVD、丝网印刷、高温烧结、成品分选和打包的工艺流程。本发明的有益效果:产品不存在水痕水纹和粘片,刻蚀后片子的温度合适,边缘及整体亮度和刻蚀宽度适中...
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