半导体设备历史数据的记录管理方法技术

本发明专利技术公开一种半导体设备历史数据的记录管理方法，该管理方法包含以下步骤：对数据库进行初始化，分别建立批量索引表、单个索引表、原始数据表、统计数据表；从半导体设备的数据接口获取历史数据信息，根据历史数据类型存入数据库中相应的数据表中。用户可以根据需要方便地从数据库调取所需的各类型的数据表。另外，每天的产品信息都存储为一个历史数据库，并以当天时间命名，便于快速定位数据库；通过查询数据库中的索引表，能够快速找到需要查找的数据的时间范围，再通过时间范围到原始数据表或统计数据表进行查询，有效的提高了查询速度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体设备领域，具体涉及一种半导体设备的历史数据的记录管理方法。
技术介绍
工业现场设备的控制系统运行时，由于设备要求的自动化程度高，要求对设备的历史数据进行记录。常规的方法是将所有数据都存储在数据库的一个以序号为主键和内部包含很多列的数据表中，使得历史数据库的占用空间很大，查询速度较慢。
技术实现思路
针对上述历史数据库的占用空间大、查询速度慢的问题，本专利技术为解决该问题提供一种对数据库进行优化并查询速度较快的。为达到上述专利技术目的，本专利技术采取如下方法该半导体设备的历史数据的记录管理方法包括如下步骤对数据库进行初始化；从半导体设备的数据接口获取历史数据信息，判断历史数据类型，如数据类型为原始数据，则将该信息转换成指定的格式，并存入数据库中的原始数据表；对原始数据表中的数据进行数据统计，并将统计数据存入数据库中的统计数据表；判断是否查询，如查询，则进入数据查询检索。如果历史数据类型为批量产品信息，则将该信息转换成指定的格式，并存入数据库中的批量索引表。如果历史数据类型为单个产品信息，则将该信息转换成指定的格式，并存入数据库中的单个索引表。数据库初始化包括如下步骤判断是否存在当天的历史数据库；如果不存在当天的数据库，则创建以当前日期命名的数据库，再连接到新数据库；判断数据库中是否存在批量索引表，如果不存在，则创建批量索引表；判断数据库中是否存在单个索引表，如果不存在，则创建单个索引表；判断数据库中是否存在原始数据表，如果不存在，则创建原始数据表；判断数据库中是否存在统计数据表，如果不存在，则创建统计数据表，从半导体设备的数据接口获取历史数据信息。如果数据库中存在统计数据表，则从半导体设备的数据接口获取历史数据信息。如果数据库中存在原始数据表，则接续判断数据库中是否存在统计数据表步骤。如果数据库中存在单个索引表，则接续判断数据库中是否存在原始数据表步骤。如果数据库中存在批量索引表，则接续判断数据库中是否存在单个索引表步骤。如存在当天的历史数据库，则连接到原数据库，接续判断数据库中是否存在批量索引表步骤。数据查询检索包括如下步骤根据需要查询的时间范围定位数据库；判断查询的数据类型，如类型为批量设备，则按时间范围查询批量索引表；判断是否查询某批产品的详细信息，如果是，则得到加工某批产品的时间范围，按该时间范围查询数据库中的单个索引表；判断是否查询某个产品的详细信息，如果是，则得到加工某个产品的时间范围；判断用户要查询的详细数据类型，如类型为原始数据数据，则按时间范围查询原始数据表，得到所需的历史数据信息。如果用户要查询的详细数据类型为统计数据，则按时间范围查询统计数据表，得到所需的历史数据信息。如果查询数据类型为单个设备，则接续按时间范围查询数据库中的单个索引表步马聚ο本专利技术具有以下有益效果1.占用的存储空间小。历史数据的主要数据量集中在原始数据表和统计数据表中，由于采用了索引映射机制，使得原始数据表和统计数据表减少到三列，而且每列采用最节省空间的字段定义方式，有效的减小了历史数据所占用的存储空间。2.查询速度快。历史数据库采用了每天建立一个数据库，并以当天时间命名的数据库创建方法，便于快速定位数据库；通过查询数据库中的索引表，能够快速找到需要查找的数据的时间范围，再通过时间范围到原始数据表或统计数据表进行查询，有效的提高了查询速度。附图说明图1为本专利技术数据存储和查询流程图；图2为图1中数据库初始化流程图。图3为图1中数据查询检索流程具体实施例方式下面根据附图对本专利技术的方案进一步详细描述如图1所示，半导体设备的历史数据的记录管理方法包括如下步骤对数据库进行初始化；从半导体设备的数据接口获取历史数据信息，判断历史数据类型，如数据类型为原始数据，则将该信息转换成指定的格式，并存入数据库中的原始数据表；对原始数据表中的数据进行数据统计，并将统计数据存入数据库中的统计数据表；判断是否查询，如查询，则进入数据查询检索。如不查询，则退出。如果历史数据类型为批量产品信息，则将该信息转换成指定的格式，并存入数据库中的批量索引表。如果历史数据类型为单个产品信息，则将该信息转换成指定的格式，并存入数据库中的单个索引表。上面所提到的数据信息转换成指定格式的含义为数据信息包含时间信息、数值信息、数据信息名。转换格式为将时间信息转化成DateTime系统时间格式，将数值信息转化为单精度浮点型数字，将数据信息名转化成其对应的数据信息索引号。数据信息索引号的含义为数据信息索引号与数据信息名存储在数据库中的数据信息对应表中。此表中，数据信息索引号与数据信息名是一一对应的关系。当进行数据信息名转化时，系统会自动查询数据信息对应表，通过数据信息名得到其对应的数据信息索引号。采用此信息转换方式，可以有效地减小了历史数据库的占用空间。如图2所示，数据库初始化包括如下步骤判断是否存在当天的历史数据库；如果不存在当天的数据库，则创建以当前日期命名的数据库，再连接到新数据库；判断数据库中是否存在批量索引表，如果不存在，则创建批量索引表；判断数据库中是否存在单个索引表，如果不存在，则创建单个索引表；判断数据库中是否存在原始数据表，如果不存在，则创建原始数据表；判断数据库中是否存在统计数据表，如果不存在，则创建统计数据表，从半导体设备的数据接口获取历史数据信息。如果数据库中存在统计数据表，则从半导体设备的数据接口获取历史数据信息。如果数据库中存在原始数据表，则接续判断数据库中是否存在统计数据表步骤。如果数据库中存在单个索引表，则接续判断数据库中是否存在原始数据表步骤。如果数据库中存在批量索引表，则接续判断数据库中是否存在单个索引表步骤。如存在当天的历史数据库，则连接到原数据库，接续判断数据库中是否存在批量索引表步骤。批量索引表用于存储批量产品的信息，包含加工每批产品的批号、开始时间、结束时间、所需完成产品总数、完成产品数量。单个索引表用于存储单个产品的信息，包含每个产品的产品号、开始时间、结束时间、所需完成工序步骤总数、完成工序步骤数量。原始数据表用于存储设备产生的原始数据信息，每个产品在加工过程中的每个操作步骤的状态信息都被记录在原始数据表中，包含步骤发生时间、参数名称、参数值。统计数据表用于存储对原始数据的各个参数进行统计的数据信息，包含参数名称、平均值、最大值、最小值、方差。数据查询检索包括如下步骤根据需要查询的时间范围定位数据库；判断查询的数据类型，如类型为批量设备，则按时间范围查询批量索引表；判断是否查询某批产品的详细信息，如果是，则得到加工某批产品的时间范围，按该时间范围查询数据库中的单个索引表；如果否，则退出；判断是否查询某个产品的详细信息，如果是，则得到加工某个产品的时间范围；如果否，则退出；判断用户要查询的详细数据类型，如类型为原始数据数据，则按时间范围查询原始数据表，得到所需的历史数据信息。如果用户要查询的详细数据类型为统计数据，则按时间范围查询统计数据表，得到所需的历史数据信息。如果查询数据类型为单个设备，则接续按时间范围查询数据库中的单个索引表步马聚ο得到的历史数据信息将会传给用户终端，用户可以根据查到的历史数据信息可以对产品的加工过程有全面的了解。权利要求1.一种，其特征在于包括如下步骤 对数据库进行初始化；从半导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏，康凯，林跃，张萌，姜军，周建辉，唐达鼎，张锐，邢芳，
申请(专利权)人：沈阳中科博微自动化技术有限公司，
类型：发明
国别省市：