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本发明公开一种半导体设备历史数据的记录管理方法，该管理方法包含以下步骤：对数据库进行初始化，分别建立批量索引表、单个索引表、原始数据表、统计数据表；从半导体设备的数据接口获取历史数据信息，根据历史数据类型存入数据库中相应的数据表中。用户可以...
该专利属于沈阳中科博微自动化技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳中科博微自动化技术有限公司授权不得商用。

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