激光加工装置及激光加工方法制造方法及图纸

提高改质点的控制性。激光加工装置(100)，具备：将第1脉冲激光(L1)射出的第1激光光源(101)、将第2脉冲激光(L2)射出的第2激光光源(102)、将脉冲激光(L1、L2)的偏振方向分别变化的1/2波长板(104、105)、将偏振方向已变化的脉冲激光(L1、L2)分别进行偏振光分离的偏振光光束分光器(106、107)、及将进行了偏振光分离的脉冲激光(L1、L2)聚光于加工对象物(1)的聚光透镜(112)。在激光加工装置(100)中，通过光强度控制部(121)使在1/2波长板(104、105)变化的脉冲激光(L1、L2)的偏振方向可变的话，由偏振光光束分光器(106、107)进行偏振光分离的脉冲激光(L1、L2)的比率就可变，其结果，脉冲激光(L1、L2)的各强度被调整。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于在加工对象物形成改质区域的。
技术介绍
现有的激光加工装置，已知是通过将彼此之间波长不同的第1及第2激光聚光于加工对象物，而将加工对象物切断。例如下述专利文献1的激光加工装置，使用第1紫外光波长的第1放射脉冲及比第1紫外光波长更长的第2紫外光波长的第2放射脉冲，将基板的一部分切除。此外，例如下述专利文献2的激光加工装置，使用激光的振荡波及其高次谐波而将加工对象物切断。此外，近年来，例如下述专利文献3的激光加工装置在被开发，其使脉冲激光聚光于加工对象物，在加工对象物的内部沿着切断预定线形成多个改质点，通过多个改质点形成改质区域。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开平2-182389号公报专利文献2 日本专利第沈04395号公报专利文献3 日本特开2004-337903号公报
技术实现思路
本专利技术所要解决的课题在此，在如上述的激光加工装置中，被要求提高改质点的控制性。即期望例如对应于加工对象物的厚度和材质等，精度良好地控制改质点的大小和从改质点产生的龟裂的长度(以下简称为“龟裂长度”)。因此，本专利技术的课题是提供一种，可以提高改质点的控制性。解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术的激光加工装置，是将多个脉冲激光在加工对象物聚光，在加工对象物的内部沿着切断预定线形成多个改质点，通过多个改质点形成改质区域的激光加工装置，其特征为，具备将具有第1波长的第1脉冲激光射出的第1激光光源；将具有与第1波长不同的第2波长的第2脉冲激光射出的第2激光光源；使第1脉冲激光的偏振方向变化的第一 1/2波长板；使第2脉冲激光的偏振方向变化的第二 1/2波长板；及偏振光分离单元，将由第一 1/2波长板改变了偏振方向的第1脉冲激光及由第二 1/2波长板改变了偏振方向的第2脉冲激光进行偏振光分离；聚光透镜，使由偏振光分离单元进行了偏振光分离的第1及第2脉冲激光聚光于加工对象物；以及光强度控制手段，通过使由第一及第二 1/2波长板变化的第1及第2脉冲激光的偏振方向可变，来控制第1及第2脉冲激光的强度。此外，本专利技术的激光加工装置，是将多个脉冲激光聚光于加工对象物，在加工对象物的内部沿着切断预定线形成多个改质点，通过多个改质点形成改质区域的激光加工装置，其特征为，具备将具有第1波长的第1脉冲激光射出的第1激光光源；第1脉冲激光被入射，使该第1脉冲激光及具有与第1波长不同的第2波长的第2脉冲激光射出的非线性光学结晶；使第1脉冲激光的偏振方向变化的第一 1/2波长板；及使第2脉冲激光的偏振方向变化的第二 1/2波长板；偏振光分离单元，将由第一 1/2波长板改变了偏振方向的第1 脉冲激光及由第二 1/2波长板改变了偏振方向的第2脉冲激光进行偏振光分离；聚光透镜， 将由偏振光分离单元进行了偏振光分离的第1及第2脉冲激光聚光于加工对象物；及光强度控制单元，通过使由第一及第二 1/2波长板变化的第1及第2脉冲激光的偏振方向可变， 来控制第1及第2脉冲激光的强度。在这样的本专利技术中，通过光强度控制单元使由第一及第二 1/2波长板变化的第1 及第2脉冲激光的偏振方向可变的话，由偏振光分离单元进行偏振光分离的第1及第2脉冲激光的比率就可变。其结果，第1及第2脉冲激光的强度分别被调整。因此，例如不必大幅变更第1及第2脉冲激光的脉冲宽度，第1及第2脉冲激光的强度就可分别被所期望地控制。因此，可以精度良好地形成改质点的大小和龟裂长度合适的品质优良的改质点。艮口， 依据本专利技术，可提高改质点的控制性。此处，优选为具备脉冲宽度控制单元，可控制从第1激光光源射出的第1脉冲激光的脉冲宽度，脉冲宽度控制单元通过变更第1脉冲激光的脉冲宽度，以使第2脉冲激光不从非线性光学结晶射出的方式使非线性光学结晶的高次谐波变换效率下降。此情况下，可仅将第1脉冲激光聚光于加工对象物而形成改质点。此外，优选为具备同轴化单元，可将第1及第2脉冲激光同轴化。此情况下，第1 及第2脉冲激光的光学系统的结构可以简易化。此外，偏振光分离单元，也有包含将由第一 1/2波长板改变了偏振方向的第1脉冲激光进行偏振光分离的第1偏振光光束分光器、及将由第二 1/2波长板改变了偏振方向的第2脉冲激光进行偏振光分离的第2偏振光光束分光器的情况。此外，在光强度控制单元中，优选为第1脉冲激光的强度的可控制宽度比第2脉冲激光的强度的可控制宽度大。此情况下，质量佳的改质点可以合适地形成于加工对象物。而且，光强度控制单元优选为以使第1脉冲激光的强度，小于在仅将第1脉冲激光聚光于加工对象物的情况时形成有改质点的强度阈值的方式进行控制。此情况下，有关改质点的形成，第2脉冲激光是作为主要的脉冲激光作用，并且第1脉冲激光是作为辅助的脉冲激光作用。而且，第1脉冲激光可以以对于第2脉冲激光无不良影响的方式合适地起作用。其结果，可以将质量佳的改质点形成于加工对象物。而且，本专利技术的激光加工装置，是将多个脉冲激光聚光于加工对象物，在加工对象物的内部沿着切断预定线形成多个改质点，通过多个改质点形成改质区域的激光加工装置，其特征为，具备将具有第1波长的第1脉冲激光射出的第1激光光源；将具有与第1波长不同的第2波长的第2脉冲激光射出的第2激光光源；以及聚光透镜，将第1及第2脉冲激光聚光于加工对象物，第1脉冲激光的强度，小于在仅将第1脉冲激光聚光于加工对象物的情况时形成有改质点的强度阈值。而且，本专利技术的激光加工装置，是将多个脉冲激光聚光于加工对象物，在加工对象物的内部沿着切断预定线形成多个改质点，通过多个改质点形成改质区域的激光加工装置，其特征为，具备将具有第1波长的第1脉冲激光射出的第1激光光源；非线性光学结晶，使第1脉冲激光被入射，将该第1脉冲激光及具有与第1波长不同的第2波长的第2脉冲激光射出；以及聚光透镜，使第1及第2脉冲激光聚光于加工对象物，第1脉冲激光的强度，小于在仅将第1脉冲激光聚光于加工对象物的情况时形成有改质点的强度阈值。而且，本专利技术的激光加工方法，是将多个脉冲激光聚光于加工对象物，在加工对象物的内部沿着切断预定线形成多个改质点，通过多个改质点形成改质区域的激光加工方法，其特征为具有将具有第1波长的第1脉冲激光、及具有与第1波长不同的第2波长的第2脉冲激光由聚光透镜聚光于加工对象物的工序；在工序中，使第1脉冲激光的强度，小于在仅将第1脉冲激光聚光于加工对象物的情况时形成有改质点的强度阈值。在这样的本专利技术中，第1及第2脉冲激光是被聚光于加工对象物而形成多个改质点，通过这些改质点形成改质区域。此时，第1脉冲激光的强度，小于在仅将第1脉冲激光聚光于加工对象物的情况时形成有改质点的强度阈值。因此，此情况下，有关改质点的形成， 第2脉冲激光是作为主要的脉冲激光作用，并且第1脉冲激光是作为辅助的脉冲激光作用。 而且，第1脉冲激光可以以对于第2脉冲激光无不良影响的方式合适地起作用。其结果，可以将质量佳的改质点形成于加工对象物。而且，存在第1脉冲激光的波长比第2脉冲激光的波长更长的情况。专利技术的效果依据本专利技术，可提高改质点的控制性。 附图说明图1为显示成为改质区域的形成对象的加工对象物的一例的平面图。图2为图1的加工对象物的沿II-II线的剖面图。图3为激光加工后的加工对象物的平面图。图4为图3的加工对象物的沿IV-IV线的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：福满宪志，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：