本发明专利技术在环形带上安装多个搬运器并使之环行，搬运器用于保持并搬送半导体存储盒等，并且具有搬运器识别用的被识别部。设置多个站，该站具有与搬运器之间交接物品的机械手、沿着传送带的环行方向在机械手的上游侧的规定位置检测被识别部的传感器。根据传感器的信号，识别搬运器，并且识别搬运器在规定位置出现了的情况，使机械手相对于期望的搬运器动作。通过用于检测搬运器的位置的传感器，能够识别搬运器。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过安装在无限驱动介质上的搬运器来搬送半导体基板等的搬送系统，特别涉及用于保持半导体基板等物品的搬运器的识别。
技术介绍
在专利文献1 (US7234584)中，在环形带上安装多个搬运器并使之环行。搬运器具有用于支撑半导体存储盒的凸缘等的支承面，通过站的机械手将存储盒装载或卸载在搬运器上。搬送系统的控制器管理各搬运器的位置，为站指定装载或卸载对象的搬运器。为了在站识别搬运器，可以在搬运器上安装ID，而在站侧设置ID读取器。但是，这样一来，搬运器的识别需要ID读取器。现有技术文献(专利文献)专利文献1 :US723458
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的课题在于，在利用了无限驱动介质和多个搬运器的搬送系统中，利用搬运器的位置检测用的传感器识别搬运器。用于解决课题的手段本专利技术的搬送系统设置有无限驱动介质，进行环行动作；多个搬运器，该搬运器被安装于所述无限驱动介质，保持并搬送物品，并且具有搬运器识别用的被识别部(标志)；以及多个站，该多个站具有机械手，与所述搬运器之间交接物品；以及传感器，通过沿着无限驱动介质的环行方向在机械手的上游侧的规定位置检测所述被识别部，来输出搬运器的检测信号和搬运器的识别信号。本专利技术的搬送系统中的搬运器的识别方法，在环行动作的无限驱动介质上，安装多个搬运器并使之环行，该搬运器保持并搬送物品，并且具有搬运器识别用的被识别部 (标志)，设置多个站，该站具有机械手，与所述搬运器之间交接物品；以及，沿着无限驱动介质的环行方向在机械手的上游侧的规定位置检测所述被识别部的传感器，根据所述传感器的信号，识别搬运器，并且识别搬运器在规定位置出现了的情况， 使所述机械手相对于期望的搬运器动作。本专利技术的搬运器包括用于支撑物品的搬运器主体；以及，向设置于该搬运器主体上部的无限驱动介质安装的安装部；根据沿着所述无限驱动介质的运动方向的所述安装部的宽度而对搬运器识别自如。优选地，使所述搬运器的检测信号为用于开始所述机械手的交接动作的定时信号。更优选地，所述被识别部包括将搬运器安装在所述无限驱动介质上的安装部，为了识别搬运器，沿着所述无限驱动介质的环行方向，在搬运器间改变所述安装部的宽度。特别优选地，所述安装部被安装于所述无限驱动介质的下端，在所述安装部的下侧，在与无限驱动介质的下端之间在高度方向上留有间隙，并设置有搬运器主体，所述传感器在所述无限驱动介质的下端与搬运器主体的上部之间的高度位置，检测所述安装部。另外，优选地，对每规定个数的搬运器设置与其他搬运器的被识别部不同的被识别部，并且计数在检测出所述不同的被识别部之后检测出的被识别部的数目，从而识别搬运器。这里，将不同的被识别部计数为0，将下一个被识别部计数为1，或将不同的被识别部计数为1，而将下一个被识别部计数为2等，是任意的。在本说明书中，与搬送系统有关的记载也原样地适于搬送方法及所用的搬运器。专利技术的效果在本专利技术中，通过用传感器检测被识别部(标志)，识别出搬运器在规定的位置出现了的情况，并且能够识别搬运器。因此，能够以搬运器位置的检测用的传感器来兼用搬运器识别用的传感器。另外，搬运器的识别信号和检测信号在物理上无需作为不同的信号，例如可以将识别信号附加在检测信号上作为一个信号。另外，若改变针对无限驱动介质的搬运器的安装部的宽度来识别搬运器，则能够简单地识别搬运器。特别地，若在无限驱动介质的下端和搬运器主体之间在高度方向上留有间隙，并由该间隙的高度来检测沿着无限驱动介质的环行方向的安装部的宽度，则能够不妨碍搬送中的物品地检测被识别部。对每规定个数的搬运器设置与其他搬运器的被识别部不同的被识别部，并且通过计数从所述不同的被识别部起的被识别部的数目来识别搬运器，则能够对每规定个数的搬运器校验搬运器的识别是否正确。附图说明图1是表示实施例的搬送系统的布局的俯视图。图2是表示实施例中的控制系统的框图。图3是表示实施例中的站的控制系统的框图。图4是表示实施例中的搬运器和站的机械手的要部侧视图。图5是表示实施例中的搬运器和站的机械手的要部俯视图。图6是表示实施例中的站的要部后视图。图7是表示实施例中的搬运器的识别的图。图8是表示变形例的搬运器的图。图9是表示第二变形例的搬运器的图。图10是实施例中的装载时的时序图。图11是实施例中的卸载时的时序图。图12是表示实施例中的装载和卸载算法的前半部分的流程图。图13是表示实施例中的装载和卸载算法的后半部分的流程图。具体实施例方式以下，示出用于实施本专利技术的最佳实施例。实施例图1 图13示出了实施例及其变形。在各图中，2是搬送系统，使环形带4环行， 6是其驱动用带轮，将单个的带轮表示为6a、6b。另外，代替传送带4，也可以使用传送链或钢丝绳、绳索等。环形带4的环行方向固定，沿着传送带4设置多个站(station)8，各站8 上连接未图示的暂存区和处理装置10等。在传送带4上例如以固定的间隔安装搬运器12， 搬送收纳了半导体基板等的存储盒14等。搬送物品的种类是任意的。图2中示出了搬送系统的控制系统，20是生产管理控制器，管理处理装置等，使存储盒的搬送依赖于搬送管理控制器22。搬送管理控制器22对环形带驱动器M和站控制器 26进行控制，对每个站设置站控制器沈。环形带驱动器M以一定速度驱动环形带4。对站控制器26的输入是来自搬送管理控制器22的搬送指令，这对于规定地址的搬运器来说，是由装载或卸载存储盒构成。另外，沿着环形带的环行方向对各搬运器唯一地赋予地址，在实施例中，地址是10 16位(bit)长左右的数据，地址以二进制表示。另外，装载意味着使搬运器支撑物品，卸载意味着用机械手从搬运器拿出物品。来自二个光电传感器Si、s2的搬运器的检测信号被输入到站控制器沈中，其中， 光电传感器si也将搬运器的识别信号输入至站控制器26。环形带的行走量从编码器enc 被输入至控制器26。控制器沈通过光电传感器si的信号识别出搬运器在站的上游侧的规定位置出现了的情况，并通过例如光电传感器si的信号的持续时间识别搬运器的类别。将通过光电传感器Sl检测到搬运器时的编码器的数据锁存，通过以该锁存值为基准的差分，识别以光电传感器si的监视位置为基准点的搬运器的位置。另外，如后所述， 通过光电传感器s2确认编码器的数据的妥当性等。基于编码器的数据驱动机械手驱动器 27，来驱动设置在站上的机械手观，与搬运器之间进行存储盒的装载及卸载。机械手可以是装载专用的机械手和卸载专用的机械手，也可以是装载和卸载兼用的机械手。机械手观是移载机构的钳爪，其形状及构造是任意的，例如在其左右两侧设置先前放入品(先入品)传感器^R J9L，在将存储盒装载到搬运器上的情况下，确认搬运器上是否支撑有其他存储盒，或者在从搬运器卸载存储盒的情况下，确认搬运器上是否装载有存储盒。机械手观与环形带等速移动，并从搬运器的前方侧或后方侧接近搬运器，所以根据接近方向来区分使用左右一对先前放入品传感器^RJ9L。图3示出了站控制器沈的结构。31、32是整形电路，对来自传感器si、s2的信号进行整形，计数器33计数编码器的输出脉冲。设计数器33的输出为eO。搬运器计数器34 的信号表示搬运器的地址。搬运器计数器34通过传感器si的搬运器检测信号使搬运器编号加1，通过例如按本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：木股友也，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：
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