具有无限驱动介质的搬送系统及搬送方法技术方案

本发明专利技术在环行移动的环形带上安装有多个搬运器，并且测定环形带的移动量，在站上设置机械手、使机械手在环行方向和上下方向上移动的驱动部、沿着环行方向在机械手的上游侧检测搬运器的第一搬运器传感器、在第一搬运器传感器的更下游侧检测搬运器的第二搬运器传感器。在搬运器通过了第二搬运器传感器时，校验传送带的移动量是否与二个搬运器传感器间的距离一致。在开始交接动作之前，能够确认编码器是否正常等。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过安装在无限驱动介质上的搬运器来搬送半导体基板等的搬送系统，特别涉及检测出用于保持半导体基板等物品的搬运器的位置并起动站的机械手。
技术介绍
在专利文献1 (US7234584)中，在环形带上安装多个搬运器并使之环行。搬运器具有用于支撑半导体存储盒的凸缘等的支承面，通过站的机械手将存储盒装载或卸载在搬运器上。另外，设置用于检测搬运器的传感器和用于测定传送带的移动量的编码器，来控制机械手。在专利文献1中，通过传感器检测到搬运器后立即起动机械手，所以装载和卸载都在同一时刻起动机械手。但是，若检测后立即起动机械手，则信号处理上的延迟成为控制延迟而显现出来。现有技术文献(专利文献)专利文献1 :US723458
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的课题在于，在搬运器与机械手之间交接物品之前，校验搬运器的动作是否正常。本专利技术的另一课题在于，在即将交接物品之前，校验搬运器的动作。本专利技术的另外一个课题在于，在即将交接物品之前，校验机械手的动作是否正常。用于解决课题的手段本专利技术的搬送系统具有无限驱动介质，进行环行移动；多个搬运器，被安装于所述无限驱动介质，保持物品本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：木股友也，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：