具有无限驱动介质的搬送系统及搬送方法技术方案

本发明专利技术在环行移动的环形带上安装有多个搬运器，并且测定环形带的移动量，在站上设置机械手、使机械手在环行方向和上下方向上移动的驱动部、沿着环行方向在机械手的上游侧检测搬运器的第一搬运器传感器、在第一搬运器传感器的更下游侧检测搬运器的第二搬运器传感器。在搬运器通过了第二搬运器传感器时，校验传送带的移动量是否与二个搬运器传感器间的距离一致。在开始交接动作之前，能够确认编码器是否正常等。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及通过安装在无限驱动介质上的搬运器来搬送半导体基板等的搬送系统，特别涉及检测出用于保持半导体基板等物品的搬运器的位置并起动站的机械手。
技术介绍
在专利文献1 (US7234584)中，在环形带上安装多个搬运器并使之环行。搬运器具有用于支撑半导体存储盒的凸缘等的支承面，通过站的机械手将存储盒装载或卸载在搬运器上。另外，设置用于检测搬运器的传感器和用于测定传送带的移动量的编码器，来控制机械手。在专利文献1中，通过传感器检测到搬运器后立即起动机械手，所以装载和卸载都在同一时刻起动机械手。但是，若检测后立即起动机械手，则信号处理上的延迟成为控制延迟而显现出来。现有技术文献(专利文献)专利文献1 :US723458
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的课题在于，在搬运器与机械手之间交接物品之前，校验搬运器的动作是否正常。本专利技术的另一课题在于，在即将交接物品之前，校验搬运器的动作。本专利技术的另外一个课题在于，在即将交接物品之前，校验机械手的动作是否正常。用于解决课题的手段本专利技术的搬送系统具有无限驱动介质，进行环行移动；多个搬运器，被安装于所述无限驱动介质，保持物品并进行搬送；多个站，沿着所述无限驱动介质而设置；以及移动量传感器，测定所述无限驱动介质的移动量，所述站的每一个具有机械手，与所述搬运器之间交接物品；驱动部，使所述机械手在所述无限驱动介质的环行方向和上下方向上移动；第一搬运器传感器，沿着所述无限驱动介质的环行方向，在机械手的上游侧的规定位置检测所述搬运器；第二搬运器传感器，在所述第一搬运器传感器的下游侧检测搬运器；以及信号处理部，基于从利用所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器的时间点起的、由所述移动量传感器测定出的移动量，通过所述驱动部起动机械手，并且在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器时，将所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器起的由所述移动量传感器测定出的移动量与第一搬运器传感器和第二搬运器传感器间的距离进行比较，在它们之间具有容许值以上的误差的情况下，通过所述驱动部使机械手的动作停止。移动量传感器例如设置在各站上，但也可以在接近的多个站中的任一站上设置移动量传感器，在接近了的多个站间共用移动量传感器。或者，还可以在相邻的多个站的中间设置移动量传感器，而在左右的站间共用移动量传感器。在本专利技术的搬送方法中，在环行移动的无限驱动介质上，安装有保持并输送物品的多个搬运器，并且测定所述无限驱动介质的移动量，在沿着所述无限驱动介质的多个站上，设置与所述搬运器之间交接物品的机械手，沿着所述无限驱动介质的环行方向、在机械手的上游侧的规定位置，通过第一搬运器传感器检测所述搬运器，在所述第一搬运器传感器的下游侧，通过第二搬运器传感器检测搬运器，基于从利用所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器的时间点起的、无限驱动介质的移动量，通过所述驱动部起动机械手，在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器时，将所述第一搬运器传感器检测出所述搬运器起的无限驱动介质的移动量与第一搬运器传感器和第二搬运器传感器间的距离进行比较，在它们之间具有容许值以上的误差的情况下，通过所述驱动部使机械手的动作停止。。优选地，所述第一搬运器传感器在所述机械手的移动开始位置(始位置)的下游侧的规定位置检测所述搬运器，并且所述第一搬运器传感器检测出搬运器之后，在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器之前，起动所述机械手。更优选地，还设置有第二移动量传感器，测定从所述机械手的移动开始位置起的移动量，所述信号处理部，在所述第二搬运器传感器检测出所述搬运器时，将该第二移动量传感器测定出的移动量与规定的移动量进行比较，在存在容许值以上的误差时，通过所述驱动部使机械手的动作停止。特别优选地，所述驱动部驱动所述机械手，使得所述搬运器和所述机械手等速且同时通过所述第二搬运器传感器。在本说明书中，与搬送系统有关的记载也原样地适于搬送方法。专利技术的效果在本专利技术中，将第一搬运器传感器和第二搬运器传感器间的距离、与此相对应的无限驱动介质的移动量的测定值进行比较。因此，能够检测无限驱动介质的移动量的测定传感器的异常、无限驱动介质的环行速度的变动、第一搬运器传感器及第二搬运器传感器的异常等。并且，对于这些异常，将机械手的驱动停止，所以能够防止在有异常的状况下在搬运器与机械手之间交接物品。这里，在起动了机械手之后，若通过第二搬运器传感器检测出搬运器，则能够在即将进行交接之前，校验出上述的异常。另外，在通过第二搬运器传感器检测出了搬运器时，若将机械手的移动开始位置起的距离和机械手的移动量的测定值进行比较，则在即将进行交接动作之前，能够校验机械手的动作是否正常。 并且，若使搬运器和机械手等速且同时通过第二搬运器传感器，则紧随其后能够立即进入物品的交接动作。附图说明图1是表示实施例的搬送系统的布局的俯视图。图2是表示实施例中的控制系统的框图。图3是表示实施例中的站的控制系统的框图。图4是表示实施例中的搬运器和站的机械手的要部侧视图。图5是表示实施例中的搬运器和站的机械手的要部俯视图。图6是表示实施例中的站的要部后视图。图7是表示实施例中的搬运器的识别的图。图8是实施例中的装载时的时序图。图9是实施例中的卸载时的时序图。图10是表示实施例中的装载和卸载算法的前半部分的流程图。图11是表示实施例中的装载和卸载算法的后半部分的流程图。具体实施例方式以下，示出用于实施本专利技术的最佳实施例。实施例图1 图11示出了实施例及其变形。在各图中，2是搬送系统，使环形带4环行， 6是其驱动用带轮，将单个的带轮表示为6a、6b。另外，代替传送带4，也可以使用传送链或钢丝绳、绳索等。环形带4的环行方向为固定，沿着传送带4设置有多个站(Station)S,各站8上连接未图示的暂存区和处理装置10等。在传送带4上例如以固定的间隔安装有搬运器12，搬送收纳了半导体基板等的存储盒14等。搬送物品的种类是任意的。图2示出了搬送系统的控制系统，20是生产管理控制器，管理处理装置等，使存储盒的搬送依赖于搬送管理控制器22。搬送管理控制器22对环形带驱动器M和站控制器 26进行控制，对每个站设置站控制器沈。环形带驱动器M以一定速度驱动环形带4。对站控制器26的输入是来自搬送管理控制器22的搬送指令，这是由对于规定地址的搬运器装载或卸载存储盒构成。另外，沿着环形带的环行方向对各搬运器唯一地赋予地址，在实施例中，地址是10 16位(bit)长左右的数据，地址以二进制表示。另外，装载意味着使搬运器支撑物品，卸载意味着用机械手从搬运器拿出物品。来自二个光电传感器si、s2的搬运器的检测信号被输入到站控制器沈中，其中， 光电传感器si也将搬运器的识别信号输入至站控制器26。环形带的行走量从编码器enc 输入至控制器26。控制器沈通过光电传感器si的信号识别出搬运器出现在了站的上游侧的规定位置的情况，并通过例如光电传感器si的信号的持续时间识别搬运器的类别。将通过光电传感器Sl检测到搬运器时的编码器的数据锁存，通过以该锁存值为基准的差分，识别以光电传感器si的监视位置为基准点的搬运器的位置。另外，如后所述， 通过光电传感器s2确认编码器的数据的妥当性等。基于编码器的数据驱动机械手驱动器27，来驱动设置在站上的机械手观，从而在与搬本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：木股友也，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：