线切割装置的主轮结构及线切割装置制造方法及图纸

技术编号:7310080 阅读:184 留言:0更新日期:2012-05-03 04:58
本实用新型专利技术公开了一种线切割装置的主轮结构及线切割装置,本实用新型专利技术的主轮结构靠近出线端的环形的沟槽具有对称型态,可以是正V型或U型,可以有效补偿在出线端的因线损而形成小线径的线材,进而提高晶圆切片的良率,并延长主轮结构的使用寿命,进而达到节省成本的目的,本实用新型专利技术所提供的线切割装置是具有本实用新型专利技术主轮结构的线切割装置,具有本实用新型专利技术主轮结构所具有的优点及功效。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种主轮结构及具有该主轮结构的装置,尤指一种线切割装置的主轮结构及该线切割装置。
技术介绍
太阳能电池目前主要分为结晶硅太阳能电池及非晶硅太阳能电池,其中结晶硅太阳能电池的硅芯片是由硅晶锭切片而来。硅晶锭切片制作硅晶圆的常见方法是利用线切割装置进行自由磨粒的切削作业,例如线切割装置通常包括可旋转的两个导轮及装配在导轮的平行导槽上的线材,使形成多段的并行线锯;而在切削作业时将内含切削粉(如碳化硅等)的切削液浇注于并行线锯上,此时利用马达等牵动并行线锯使切削粉与硅晶锭接触磨擦而产生切割,以将硅晶锭切成均勻薄片。但为了提高硅晶锭切片的切削速率,前述导轮的长度日益提升,而导致沟槽因 CNC(数控机床)加工的问题而出现不一致态样。如,如图1所示,CNC车床刀具由入线端 111处开始进行沟槽加工,当加工至出线端112处时,会因车刀磨损导致出线端112的沟槽出现偏心(如图3所示)、毛边、突起、不对称等问题,而有别于图2所示之正V形的沟槽型态。因此,当应用于切削作业时,在出线端112处的线材会因线损而形成较小的线径,而较小线径的线材容易因出线端112的较差的沟槽而产生诸多问题,例如,线材本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:陈钰麟刘建亿
申请(专利权)人:昆山中辰矽晶有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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