下载线切割装置的主轮结构及线切割装置的技术资料

文档序号:7310080

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本实用新型公开了一种线切割装置的主轮结构及线切割装置,本实用新型的主轮结构靠近出线端的环形的沟槽具有对称型态,可以是正V型或U型,可以有效补偿在出线端的因线损而形成小线径的线材,进而提高晶圆切片的良率,并延长主轮结构的使用寿命,进而达到节省...
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