检测装置制造方法及图纸

技术编号:7276692 阅读:124 留言:0更新日期:2012-04-19 02:49
本发明专利技术公开了一种检测装置,包括:具有多个光源的第一光源组;切换多个光源以使多个光源中的任一个光源有效的切换部;使来自通过切换部变切换为有效的光源的光入射到光器件的导电体的第一光学系统;以及从被导电体散射或反射的光中检测出拉曼散射光的检测器。第一光源组的多个光源各自在有效的状态下能放射具有互不相同的偏振方向的光。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检测装置等。
技术介绍
拉曼光谱仪通常包括检测出依赖于作为检测对象的物质的拉曼散射光而获得拉曼光谱的检测器,并能够从拉曼光谱进行光谱分析,从而确定作为检测对象的物质。不过, 拉曼散射光的信号强度通常是微弱的,从而检测灵敏度低。日本专利文献1公开了手持拉曼体液分析仪,用金溶胶带提供表面增强拉曼散射,从而提高拉曼散射光的信号强度。另外,通过将激发光诸如照射到金属表面,能够产生局部等离子体,并能够通过激发光和局部等离子体的结合,局部地增强电场。在表面增强拉曼散射中,可以考虑到拉曼散射光因增强电场而被增强。日本专利文献2公开了可进行稳定的偏振面控制的垂直共振器面发光激光器 (VCSEL Vertical Cavity Surface Emitting Laser (垂直腔表面发射激光器)),并能够用这样的垂直共振器面发光激光器等提供激发光。在激发光与局部等离子体结合时,由局部等离子体共振引起光吸收,例如,在日本专利文献3中公开有这样的方法,利用由在表面上固定有金属微粒的基板产生的局部表面等离子体共振,提高传感器灵敏度。在日本专利文献4中,公开有具有向长波长侧进行位移的共振峰和向短波长侧进行位移的共振峰的局部等离子体共振传感器的技术。此外,在日本专利文献5中,公开了为了可与多个波长共振而由多个共振区域构成了微小共振器的电场增强设备的技术。拉曼光谱仪通常包括具有可吸附作为检测对象的物质的金属纳米构造等导电体的光器件,并通过使光入射到导电体,能够检测出由增强电场引起的拉曼散射光。由于光器件的种类、制造误差,有时增强电场的增强度低,拉曼散射光的信号强度达不到规定值。日本专利文献1日本专利文献2日本专利文献3日本专利文献4日本专利文献5日本特表2008-5^006号公报日本专利第34拟拟4号公报日本特开2000-356587号公报日本特开2007-10648号公报日本特开2009-250951号公报
技术实现思路
根据本专利技术的几个实施方式,能够提供一种可提供更合适的增强电场的检测装置寸。本专利技术第一方面涉及的检测装置,包括具有多个光源的第一光源组;切换上述多个光源以使上述多个光源中的任一个光源有效的切换部;使来自通过上述切换部切换为有效的光源的光入射到光器件的导电体的第一光学系统;以及从被上述导电体散射或反射的光中检测出拉曼散射光的检测器,其中,上述第一光源组的上述多个光源各自在有效的状态下能放射具有互不相同的偏振方向的光。根据本专利技术第一方面涉及的检测装置,能够通过切换部切换第一光源组的多个光源,因此,能够切换偏振光方向。例如,当用蒸镀的金属微粒子在光器件中形成了金属纳米构造时,通过蒸镀形成的独立的岛状的金属纳米构造的金属微粒子的大小和形状不均勻, 形成增强电场的间隙也不均勻。换言之,根据向光器件入射的光的偏振方向,增强电场变强或变弱。此外,当例如用光刻法在光器件中形成金属纳米构造时,通过设定与指定的方向平行的光的偏振方向,能够提供理想的增强电场。换言之,如果不准确地设定向光器件入射的光的偏振方向,增强电场变强或变弱。这样,在具有由蒸镀或光刻法形成的金属纳米构造的光器件中,由增强电场引起的拉曼散射光的信号强度依存于向光器件入射的光的偏振方向。因而,通过切换向光器件入射的光的偏振方向,能够提供更合适的增强电场。此外,在本专利技术第二方面涉及的检测装置中,当上述切换部从上述第一光源组的上述多个光源中使第一光源有效、且上述检测部检测出的上述拉曼散射光在规定的强度以下时,上述切换部可以使上述第一光源无效,从上述第一光源组的上述多个光源中使第二光源有效。根据这样,在实际检测出基于第一光源的拉曼散射光时,如果基于第一光源的拉曼散射光的信号强度低,能够从第一光源切换成第二光源,从而检测出基于第二光源的拉曼散射光。此外,在本专利技术第三方面涉及的检测装置中,上述切换部可以具有可变控制上述光器件和通过上述切换部切换为有效的上述光源的相对位置的控制部。根据这样,能够在使多个光源中的任一个光源有效时,诸如使光源的位置变化。此外,在本专利技术第四方面涉及的检测装置中,上述切换部可以具有可变控制上述光器件和上述第一光学系统的相对位置的控制部。根据这样,能够在使多个光源中的任一个光源有效时,诸如使第一光学系统的位置变化。此外,在本专利技术第五方面涉及的检测装置中,上述控制部可以使通过上述切换部切换为有效的上述光源的光轴与上述第一光学系统的光轴一致。根据这样,能够在使多个光源中的任一个光源有效时,在使变为有效的光源的光轴与第一光学系统的光轴一致的状态下,使来自变为有效的光源的光入射到光器件。此外,在本专利技术第六方面涉及的检测装置中,上述控制部可以使通过上述切换部切换为有效的上述光源的光轴偏离上述第一光学系统的光轴。根据这样,能够在使多个光源中的任一个光源有效时,在使变为有效的光源的光轴偏离第一光学系统的光轴的状态下,使来自变为有效的光源的光入射到光器件。此外,在本专利技术第七方面涉及的检测装置中,上述检测装置也可以还包括具有多个光源的第二光源组,其中,上述第二光源组的上述多个光源可以各自与上述第一光源组的上述多个光源中的任一个光源对应,上述第二光源组的上述多个光源各自在有效的状态下,能放射具有与上述第一光源组的上述多个光源中的对应的一个光源的偏振方向相同的偏振方向的光,当上述切换部从上述第一光源组的上述多个光源中使上述第二光源有效、 且上述检测部检测出的上述拉曼散射光在上述规定的强度以下时,上述切换部可以使上述5第二光源保持为有效,并从上述第二光源组的上述多个光源中使第三光源有效,朝向上述导电体的来自上述第二光源的光所具有的偏振方向与朝向上述导电体的来自上述第三光源的光所具有的偏振方向相同。根据这样,在实际检测出基于第二光源的拉曼散射光时,如果基于第二光源的拉曼散射光的信号强度低,能够使第二光源及第三光源有效,从而检测出基于偏振方向相同的两个光源的拉曼散射光。此外,在本专利技术第八方面涉及的检测装置中,上述光器件的上述导电体可以具有包括多个突起的第一突起组,上述第一突起组的上述多个突起可以各自沿着与上述导电体的假想平面平行的方向以第一周期排列,上述第一光学系统可以以来自通过上述切换部切换为有效的上述光源的上述光所具有的偏振方向的与上述假想平面平行的成分与上述第一突起组的排列方向平行的方式,使来自通过上述切换部切换为有效的上述光源的上述光入射到上述第一突起组。根据这样,能够通过第一突起组提高光器件中的增强电场。此外,能够向光器件入射偏振方向的与假想平面平行的成分与第一突起组的排列方向平行的直线偏振光。通过这样,能够激发传播型表面等离子体。此外,在本专利技术第九方面涉及的检测装置中,上述第一突起组的上述多个突起可以各自具有在上述第一突起组的顶面上通过导电体形成的第二突起组,与上述第一突起组的上述多个突起中的任一个突起对应的上述第二突起组的多个突起可以各自沿着与上述假想平面平行的上述方向以比上述第一周期短的第二周期排列。 根据这样,能够通过第二突起组也提高光器件中的增强电场。此外,在本专利技术第十方面涉及的检测装置中,在排列有上述第一突起组、且是上述第一突起组的邻接的突起间的面上,可以具有通过导电体形成的第三突起组,上述第三突起组的多个突起可以各自在上述第一突起组的上本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:坂上裕介尼子淳
申请(专利权)人:精工爱普生株式会社
类型:发明
国别省市:

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