【技术实现步骤摘要】
单晶炉坩埚防尘装置属于机电
，特别涉及多晶硅转化为单晶硅拉制过程中单晶炉坩埚防尘。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料；单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在硅单晶拉制前，利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；众所周知，目前单晶炉坩埚装置，采用防尘装置密固性能差，容易造成设备损坏，晶棒精度低等现象。专利技术的内容本专利技术单晶炉坩埚防尘装置专利技术目的在于解决单晶炉晶体拉制过程中产生杂质易掉入磁流体、造成设备易损坏问题，设计制造一种与现有技术不同坩埚防尘装置。本专利技术单晶炉坩埚防尘装置是这样实现的含杂质和磁流体，由坩埚轴、压紧套和防尘法兰组成；坩埚轴为水冷焊接件和磁流体同轴心套装，在磁流体上平面和坩埚轴外圆轴面同轴心安装防尘法兰；压紧套套装在防尘法兰外侧并通过螺钉固定在坩埚轴上。在硅单晶拉制过程中，利用单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，导致磁流体卡死、不旋转，影响拉晶质量。本专利技术单晶炉坩埚防尘装置的有益效果是在硅单晶拉制过程中，单晶炉坩埚防尘装置可防止作业时杂质掉入磁流体内，造成磁流体卡死，不旋转，影响拉晶质量；降低成本，提高作业效率。附图说明附图为本专利技术单晶炉坩埚防尘装置结构示意图。图中坩埚轴1、压紧套2、杂质3、磁流体4、防尘法兰5。具体实施例方式本专利技术单晶炉坩埚防尘装置，含杂质3和磁...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴学军，周凯平，
申请(专利权)人：宁夏日晶新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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