防高温变形的固定架和炉管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种防高温变形的固定架，所述固定架位于炉管腔室内，用于支撑伸入炉管腔室内的喷射管，所述炉管腔室由炉管体和炉管座上下合围组成，所述固定架和炉管座的侧壁固定连接，所述固定架独立支撑单个的所述喷射管。还公开了一种采用如上所述固定架的防高温变形的炉管。本实用新型专利技术通过将固定架独立设置，使其单独支撑单个喷射管，一方面，由于固定架和喷射管一一对应装配，因此，每个固定架都能够和各自对应的喷射管紧密贴合；另一方面，由于固定架的尺寸明显缩小，因此，可以有效减少高温对固定架的变形影响，进一步确保固定架和喷射管之间紧密贴合，不存在空隙，进而，避免喷射管出现倾斜和晃动，确保化学气相沉积工艺的稳定进行。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种固定架及炉管。
技术介绍
在半导体生产车间内，需要应用大量炉管对晶圆进行化学气相沉积工艺。具体请参见图1 图3，其中，图1为现有的炉管的结构示意图；图为图1的A-A剖视图；图3为现有的固定架和喷射管的装配示意图。由图1 图3可见，现有的炉管，包括炉管体110、炉管座120、三根喷射管130和一个用于支撑所有的喷射管130的双环状的固定架140。其中，所述炉管体110设置于所述炉管座120上方，所述炉管体110和所述炉管座 120合围组成一个密闭的炉管腔室，所述喷射管130 —端经所述炉管座120的侧壁121伸入所述炉管腔室内，所述喷射管130的另一端接密封接头160。所述固定架140包括上环形板141和下环形板142，所述上环形板141与所述炉管座120的侧壁121固定连接，所述上环形板141对应各个喷射管130处分别固定设有一螺栓143，所述螺栓143上设有上螺母144和下螺母145，所述螺栓143穿过所述下环形板 142，且所述下环形板142夹设于所述上螺母144和所述下螺母145之间。在使用过程中， 通过调整上、下螺母144、145将所述下环形板142抵住(即紧贴)所述喷射管130，并通过上、下螺母144、145将下环形板142固定在当前所需的位置。但是，一方面，由于制造工艺和装配精度的限制，并不是所有的喷射管130都能够和所述下环形板142紧贴；另一方面，由于炉管的温度很高，高温容易使得上、下环形板 141、142变形，致使一些喷射管130不能和下环形板142紧贴，也具有空隙。而当喷射管130 和下环形板142之间具有空隙时，喷射管130无法受到下环形板142的有效支撑，在真空环境下，该喷射管130会倾斜和晃动，倾斜严重时，一喷射管130可能会和其旁边的喷射管130 出现碰擦现象，而晃动严重时，喷射管130甚至会出现断裂。当一喷射管130和旁边的喷射管130出现碰擦现象时，碰擦容易出现大量颗粒物质。而当喷射管130断裂时，也会产生大量的颗粒物质。这些颗粒物质会严重影响炉管内的产品质量，致使产品良率显著降低。另外，当喷射管130断裂时，喷射管130只能其部分喷射口喷射反应气体，即不能按照原先设计的喷射口 150方向喷射反应气体，从而造成晶圆上的沉积的薄膜厚度及均勻度不符合要求。因此，如何提供一种可以有效、稳固支撑住喷射管的防高温变形的固定架和炉管是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种防高温变形的固定架及炉管，通过将固定架独立设置，使其单独支撑单个喷射管，不但可以确保固定架和所述喷射管贴合，而且还可以减少高温对固定架的变形影响，从而使得固定架可以稳固支撑该单个的喷射管，防止喷射管断裂或者和其他的喷射管出现碰擦现象。为了达到上述的目的，本技术采用如下技术方案一种防高温变形的固定架，位于炉管腔室内，用于支撑伸入炉管腔室内的喷射管， 所述炉管腔室由炉管体和炉管座上下合围组成，所述固定架和所述炉管座的侧壁固定连接，所述固定架独立支撑单个的所述喷射管。在上述的防高温变形的固定架中，所述喷射管是由水平管和竖直管连接形成的垂直管，所述水平管经所述炉管座的侧壁伸入所述炉管腔室内，所述竖直管位于所述炉管腔室内，所述水平管和所述炉管座密封连接。在上述的防高温变形的固定架中，所述固定架包括固定板和螺栓组件，所述固定板和所述炉管座的侧壁固定连接，所述螺栓组件和所述固定板垂直连接，所述固定板贴合在所述水平管的下侧，所述螺栓组件贴合在所述竖直管的外侧。在上述的防高温变形的固定架中，所述螺栓组件包括相配合的螺栓和螺母，所述固定板开有供所述螺栓穿越的螺纹孔，所述螺栓和所述固定板垂直设置。在上述的防高温变形的固定架中，所述固定板的表面涂有耐高温层。在上述的防高温变形的固定架中，所述喷射管的竖直管自上而下设有设有若干喷射口。本技术还公开了一种防高温变形的炉管，一种防高温变形的炉管，包括炉管体、炉管座和若干喷射管，所述炉管体设置于所述炉管座上方，所述炉管体和所述炉管座合围组成一个密闭的炉管腔室，所述喷射管经所述炉管座的侧壁伸入所述炉管腔室内，所述炉管还包括若干如上述的固定架，所述固定架和所述喷射管一一对应，所述固定架分别和所述炉管座的侧壁固定连接在上述的防高温变形的炉管中，所述炉管座还包括一炉管座底盖，所述炉管座底盖设于所述炉管座的侧壁下方并与所述炉管座的侧壁可拆卸式连接。在上述的防高温变形的炉管中，所述炉管包括3-6根喷射管。本技术的有益效果如下本技术防高温变形的固定架和炉管，通过将固定架独立设置，使其单独支撑单个喷射管，相比现有的共用一个双环状的固定架来支撑所有的喷射管，一方面，由于固定架和喷射管一一对应装配，因此，每个固定架都能够和各自对应的喷射管紧密贴合；另一方面，由于固定架的尺寸明显缩小，因此，可以有效减少高温对固定架的变形影响，从而有效防止固定架变形，进一步确保固定架和喷射管之间紧密贴合，不存在空隙，进而，避免喷射管出现倾斜和晃动，防止因喷射管断裂或碰擦而出现颗粒物质，最终确保化学气相沉积工艺的稳定可靠进行，有效提高产品良率。附图说明本技术的防高温变形的固定架和炉管由以下的实施例及附图给出。图1为现有的炉管的结构示意图；图2为图1的A-A剖视图；图3为现有的固定架和喷射管的装配示意图；图4为本技术一实施例的防高温变形的炉管的结构示意图；图5为本技术一实施例的防高温变形的固定架和喷射管的装配示意图；具体实施方式以下将对本技术的防高温变形的固定架和炉管作进一步的详细描述。下面将参照附图对本技术进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须作出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。为使本技术的目的、特征更明显易懂，以下结合附图对本技术的具体实施方式作进一步的说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率， 仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参阅图4和图5，其中，图4为本技术一实施例的防高温变形的炉管的结构示意图；图5为本技术一实施例的防高温变形的固定架和喷射管的装配示意图。由图4和图5可见，这种防高温变形的炉管，包括炉管体210、炉管座220和多根喷射管230( —般为3-6根喷射管，在本实施例中为5根)，所述炉管体210设置于所述炉管座220上方，所述炉管体210和所述炉管座220组成一个密闭的炉管腔室，也就是说，所述炉管腔室由炉管体210和炉管座220上下合围组成，所述喷射管230经所述炉管座220的侧壁伸入所述炉管腔室内，所述炉管还包括多个(在本实施例中为5个)独立的用于分本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沈建飞，任瑞龙，徐皓，陈腾宏，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：