【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶硅生产设备领域,特别涉及一种单晶炉。
技术介绍
目前,直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列,用它来制作人工晶体,单晶生长速度最高,最容易实现人工控制,因此也获得了最广泛的应用。在晶体的生长过程中,晶体周围的温度和籽晶对晶体的长大具有重要的影响,传统的单晶炉在温度控制方面存在缺陷,不利于晶体的生长,本技术针对现有技术的不足提出了改进。
技术实现思路
针对上述技术问题,本技术提供一种在容器外壁盘绕设置有螺旋状加热器,加热效率高,能精确控制容器的温度,便于晶体的生长。本技术通过以下技术方案实现一种单晶炉,其包括炉底板、炉体、炉盖、翻板箱和副炉,所述的炉体设置在炉底板的上表面,炉盖设置在炉体的顶部,翻板箱设置在炉盖的上方,翻板箱的上方设置有副炉,其特征在于所述的炉体内部设置有盛放物料的容器,所述的容器的外壁盘绕设置有螺旋状加热器,采用螺旋状加热器盘绕设置在容器的外壁,增大了加热器与容器的接触面积,提高了加热效率,能快速的对容器的温度进行调整。所述的加热器的电极设置在炉底板上,并露出于炉底板的下表面。所述的炉盖上设置有便于观察单晶硅生产状况的观察窗。综上所述本技术通过改进加热器的结构,提高加热的效率,精确控制容器内的温度,便于晶体的生长,提高了晶体生长的效率,另外电机露出于炉底板,便于进行接线,不影响炉体的整体密封效果,设置的观察窗便于工作人员观察晶体的生长状况。附图说明图1为本技术的结构示意图;图中,1为炉底板,2为炉体,3为炉盖,4为翻板箱,5为副炉,21为容器,22为加热器,221为电极,31为观察窗。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:房志刚,
申请(专利权)人:常州江南电力光伏科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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