一种单晶炉制造技术

技术编号:7212166 阅读:159 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术属于单晶硅生产设备领域,特别涉及一种单晶炉。一种单晶炉,其包括炉底板、炉体、炉盖、翻板箱和副炉,所述的炉体设置在炉底板的上表面,炉盖设置在炉体的顶部,翻板箱设置在炉盖的上方,翻板箱的上方设置有副炉,其特征在于:所述的炉体内部设置有盛放物料的容器,所述的容器的外壁盘绕设置有螺旋状加热器。本实用新型专利技术提供一种在容器外壁盘绕设置有螺旋状加热器,加热效率高,能精确控制容器的温度,便于晶体的生长。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术属于单晶硅生产设备领域,特别涉及一种单晶炉
技术介绍
目前,直拉单晶炉是晶体生长设备中最重要的产品系列,用它来制作人工晶体,单晶生长速度最高,最容易实现人工控制,因此也获得了最广泛的应用。在晶体的生长过程中,晶体周围的温度和籽晶对晶体的长大具有重要的影响,传统的单晶炉在温度控制方面存在缺陷,不利于晶体的生长,本技术针对现有技术的不足提出了改进。
技术实现思路
针对上述技术问题,本技术提供一种在容器外壁盘绕设置有螺旋状加热器,加热效率高,能精确控制容器的温度,便于晶体的生长。本技术通过以下技术方案实现一种单晶炉,其包括炉底板、炉体、炉盖、翻板箱和副炉,所述的炉体设置在炉底板的上表面,炉盖设置在炉体的顶部,翻板箱设置在炉盖的上方,翻板箱的上方设置有副炉,其特征在于所述的炉体内部设置有盛放物料的容器,所述的容器的外壁盘绕设置有螺旋状加热器,采用螺旋状加热器盘绕设置在容器的外壁,增大了加热器与容器的接触面积,提高了加热效率,能快速的对容器的温度进行调整。所述的加热器的电极设置在炉底板上,并露出于炉底板的下表面。所述的炉盖上设置有便于观察单晶硅生产状况的观察窗。综上所述本技术通过改进加热器的结构,提高加热的效率,精确控制容器内的温度,便于晶体的生长,提高了晶体生长的效率,另外电机露出于炉底板,便于进行接线,不影响炉体的整体密封效果,设置的观察窗便于工作人员观察晶体的生长状况。附图说明图1为本技术的结构示意图;图中,1为炉底板,2为炉体,3为炉盖,4为翻板箱,5为副炉,21为容器,22为加热器,221为电极,31为观察窗。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术进一步说明。如图1所示的一种单晶炉,其包括炉底板1、炉体2、炉盖3、翻板箱4和副炉5,所述的炉体2设置在炉底板1的上表面,炉盖3设置在炉体2的顶部,翻板箱4设置在炉盖3的上方,翻板箱4的上方设置有副炉5,其特征在于所述的炉体2内部设置有盛放物料的容器21,所述的容器21的外壁盘绕设置有螺旋状加热器22,采用螺旋状加热器盘绕设置在容器的外壁,增大了加热器与容器的接触面积,提高了加热效率,能快速的对容器的温度进行调整。所述的加热器22的电极221设置在炉底板1上,并露出于炉底板1的下表面,电极露出于炉底板,便于进行接线,所述的炉盖3上设置有便于观察单晶硅生产状况的观察窗31。综上所述本技术通过改进加热器的结构,提高加热的效率,精确控制容器内的温度,便于晶体的生长,提高了晶体生长的效率,另外电极露出于炉底板,便于进行接线,不影响炉体的整体密封效果,设置的观察窗便于工作人员观察晶体的生长状况。权利要求1.一种单晶炉,其包括炉底板、炉体、炉盖、翻板箱和副炉,所述的炉体设置在炉底板的上表面,炉盖设置在炉体的顶部,翻板箱设置在炉盖的上方,翻板箱的上方设置有副炉,其特征在于所述的炉体内部设置有盛放物料的容器,所述的容器的外壁盘绕设置有螺旋状加热器。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉,其特征在于所述的加热器的电极设置在炉底板上,并露出于炉底板的下表面。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉,其特征在于所述的炉盖上设置有便于观察单晶硅生产状况的观察窗。专利摘要本技术属于单晶硅生产设备领域,特别涉及一种单晶炉。一种单晶炉,其包括炉底板、炉体、炉盖、翻板箱和副炉,所述的炉体设置在炉底板的上表面,炉盖设置在炉体的顶部,翻板箱设置在炉盖的上方,翻板箱的上方设置有副炉,其特征在于所述的炉体内部设置有盛放物料的容器,所述的容器的外壁盘绕设置有螺旋状加热器。本技术提供一种在容器外壁盘绕设置有螺旋状加热器,加热效率高,能精确控制容器的温度,便于晶体的生长。文档编号C30B15/00GK202170374SQ20112024281公开日2012年3月21日 申请日期2011年7月12日 优先权日2011年7月12日专利技术者房志刚 申请人:常州江南电力光伏科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:房志刚
申请(专利权)人:常州江南电力光伏科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1
相关领域技术