本实用新型专利技术公开了一种匀气板，包括相对的进气面和出气面，所述匀气板上设有气孔阵列，所述气孔阵列中的各个气孔均设于进气面与出气面之间，其中气孔一端连接进气面，另一端连接出气面，所述气孔包括相连的第一分部和第二分部，所述第一分部连接进气面，第一分部为等截面直孔，所述第二分部连接出气面，第二分部为锥孔，锥孔截面朝出气面方向增大。本实用新型专利技术涉及的匀气板的气孔经特殊锥孔设计，气体在经过气孔第二分部时得到发散，有助于进入电极盒内腔，能够使并联多个电极复合式设计的电极盒，取得良好的电极内和电极间膜厚均匀性。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电子设备和太阳能电池技术，尤其涉及一种用于真空镀膜机中反应腔电极盒内的勻气板。
技术介绍
非晶硅薄膜太阳能电池是20多年来国际上新发展起来的一项太阳能电池新技术。非晶硅薄膜太阳能电池的硅材料厚度只有1微米左右，是单晶硅太阳能电池硅材料厚度的1/200-1/300，与单晶硅太阳能电池相比，制备这种薄膜所用硅原料很少，薄膜生长时间较短，设备制造简单，容易大批量连续生产，根据国际上有关专家的估计，非晶硅薄膜太阳能电池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太阳能电池。薄膜化学气相沉积设备是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备，随着产能扩大，薄膜化学气相沉积设备也朝着高产能大容积的趋势发展。真空镀膜机包括反应腔，该反应腔的腔体内设嵌入式电极盒，电极盒可以是一个或多个。电极盒包括勻气板，电极板(玻璃板)，和基板，所述勻气板和基板都是横向且平行设置，电极板垂直设于勻气板和基板之间。工艺镀膜在电极盒内，即在电极板上进行，气体通过勻气板进入电极盒内腔，并进行化学反应，反应后的气体从基板排出。电极盒内腔中的气体应浓度均勻，才能得到厚度均勻的膜，为此，有必要对勻气板进行气体输送设计，以达到理想非晶硅膜特性。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种勻气板，适用于高产能大容积强化等离子气相沉积设备内部的电极盒，通过勻气板的气体能在电极盒内腔中均勻发散，获得良好的输送性。本技术采用以下技术方案—种勻气板，包括相对的进气面和出气面，所述勻气板上设有气孔阵列，所述气孔阵列中的各个气孔均设于进气面与出气面之间，其中气孔一端连接进气面，另一端连接出气面，所述气孔包括相连的第一分部和第二分部，所述第一分部连接进气面，第一分部为等截面直孔，所述第二分部连接出气面，第二分部为锥孔，锥孔截面朝出气面方向增大。进一步地，所述气孔阵列为矩阵排列。进一步地，所述锥孔最小孔径为dl为2士0. 5 (mm)，最大孔径d2为5士0. 5 (mm)。进一步地，所述锥孔最小孔径为dl为2mm，最大孔径d2为5mm。进一步地，两相邻气孔间的距离1为。进一步地，所述勻气板为铝合金板。本技术涉及的勻气板的气孔经特殊锥孔设计，气体在经过气孔第二分部时得到发散，有助于进入电极盒内腔，能够使并联多个电极复合式设计的电极盒，取得良好的电极内和电极间膜厚均勻性。附图说明图1为本技术涉及的勻气板1的结构示意图。图2为图1中A-A向的示意图，图中箭头为气流方向。图3为图1中B圈的放大图。图4为气孔的示意图。具体实施方式参见图1，为本技术涉及的勻气板1的结构示意图。所述勻气板1形状为矩形。板上设有多个气孔11，并排成气孔阵列。该气孔11用于气体通过，结合图2，勻气板 1包括相对设置的进气面13和出气面14，其中气孔11 一端连接进气面13，另一端连接出气面14，图1所示的为勻气板1的出气面14。每两排气孔间设槽12，该槽12用于插电极板(玻璃板)，气体通过气孔阵列后，扩散在电极盒内，经过玻璃板并发生反应，相当于在玻璃板上镀膜，当气体浓度均勻，就能得到厚度均勻的膜。气体的扩散由勻气板1控制。因此，气孔11的结构设计尤为重要，见图2，所述气孔11包括相连的第一分部111和第二分部112，所述第一分部111连接进气面13，第一分部111为等截面直孔，所述第二分部112 连接出气面14，第二分部112为锥孔，锥孔截面朝出气面14方向增大。优选地，所述气孔阵列为矩阵排列。锥孔的最小孔径(也就是第一分部直孔的孔径)为dl为2士0. 5(mm)， 即1. 5彡dl彡2. 5mm，最大孔径d2为5士0. 5 (mm)，即4. 5彡d2彡5. 5mm，见图4。优选方案为最小孔径dl为2mm，最大孔径d2为5mm。两相邻气孔间的距离1为四士1 (mm)，即 28 ^ 1 ^ 30mm，见图3。所述勻气板1为铝合金板。本技术涉及的勻气板的气孔经特殊锥孔设计，气体在经过气孔第二分部时得到发散，有助于进入电极盒内腔，能够使并联多个电极复合式设计的电极盒，取得良好的电极内和电极间膜厚均勻性。权利要求1.一种勻气板，包括相对的进气面(π)和出气面(14)，所述勻气板上设有气孔阵列， 所述气孔阵列中的各个气孔(11)均设于进气面(13)与出气面(14)之间，其中气孔(11) 一端连接进气面(13)，另一端连接出气面(14)，其特征是所述气孔(11)包括相连的第一分部(111)和第二分部(112)，所述第一分部(111)连接进气面(13)，第一分部(111)为等截面直孔，所述第二分部(11 连接出气面(14)，第二分部(11 为锥孔，锥孔截面朝出气面(14)方向增大。2.根据权利要求1所述的勻气板，其特征是所述气孔阵列为矩阵排列。3.根据权利要求1所述的勻气板，其特征是所述锥孔最小孔径为dl为2士0.5mm，最大孔径d2为5士0. 5mm。4.根据权利要求3所述的勻气板，其特征是所述锥孔最小孔径为dl为2mm，最大孔径 d2 为 5mm。5.根据权利要求1所述的勻气板，其特征是两相邻气孔间的距离1为^±lmm。6.根据权利要求1所述的勻气板，其特征是所述勻气板为铝合金板。专利摘要本技术公开了一种匀气板，包括相对的进气面和出气面，所述匀气板上设有气孔阵列，所述气孔阵列中的各个气孔均设于进气面与出气面之间，其中气孔一端连接进气面，另一端连接出气面，所述气孔包括相连的第一分部和第二分部，所述第一分部连接进气面，第一分部为等截面直孔，所述第二分部连接出气面，第二分部为锥孔，锥孔截面朝出气面方向增大。本技术涉及的匀气板的气孔经特殊锥孔设计，气体在经过气孔第二分部时得到发散，有助于进入电极盒内腔，能够使并联多个电极复合式设计的电极盒，取得良好的电极内和电极间膜厚均匀性。文档编号H01L21/00GK202153534SQ201120270200公开日2012年2月29日 申请日期2011年7月28日 优先权日2011年7月28日专利技术者郭锋 申请人:上海曙海太阳能有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种匀气板，包括相对的进气面（１３）和出气面（１４），所述匀气板上设有气孔阵列，所述气孔阵列中的各个气孔（１１）均设于进气面（１３）与出气面（１４）之间，其中气孔（１１）一端连接进气面（１３），另一端连接出气面（１４），其特征是：所述气孔（１１）包括相连的第一分部（１１１）和第二分部（１１２），所述第一分部（１１１）连接进气面（１３），第一分部（１１１）为等截面直孔，所述第二分部（１１２）连接出气面（１４），第二分部（１１２）为锥孔，锥孔截面朝出气面（１４）方向增大。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭锋，
申请(专利权)人：上海曙海太阳能有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31
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