本发明专利技术提供能够防止灰尘附着在工件上、并防止薄膜材料附着在工件的侧部，而且能够以均匀的厚度形成薄膜的薄膜形成装置及薄膜形成方法。具有对工件在(1)的上表面进行保持的保持部(2)、把树脂(R)供给到被保持部(2)保持的工件(1)的下方的供给部(3)、使被所述保持部(2)保持的工件(1)旋转从而使由所述供给部(3)供给的树脂(R)在工件(1)的下表面上延展的旋转机构(22)、通过朝在工件(1)的下表面上延展的树脂(R)照射紫外线(UV)而使树脂(R)硬化的硬化部(4)、和使保持部(2)在供给部(3)与硬化部(4)间移动的移动机构(24)。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及例如用于在平板状的工件的表面形成薄膜的。
技术介绍
在手机等的液晶板或盖板的表面、光盘等基板的表面设有保护用的硬涂层。该硬涂层通过把树脂薄膜硬化而形成。而且，在光盘上，为了粘贴作为其构成部件的一对基板， 必须在一方或双方的基板上涂布作为粘接剂的树脂薄膜。作为在这样的显示板或保护板、基板等的平板状的部件(以下称为工件)的表面形成树脂薄膜的方法，一般采用自旋涂布(7 e > 二一卜)法(参照专利文献1)。通过自旋涂布法进行的树脂涂布，例如按如下方式进行。即，如图11 (A)所示，由管嘴N把树脂R滴到被载置在旋转台T上的工件W的上面。而且，如图Il(B)所示，当通过马达M使旋转台T旋转时，树脂R在离心力作用下在工件W的表面延展。除了自旋涂布法以外，作为形成树脂薄膜的方法，存在通过直线状的缝隙来涂布树脂的方法。该技术为，缝隙一边供给树脂一边在工件的表面平行移动，由此，在工件的表面涂布树脂(参照专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2002-343701号公报专利文献2 日本特开平6-343908号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在通过上述自旋涂布法进行薄膜形成时，存在以下问题。即，在被载置在旋转台上的工件上，有可能落下周围的灰尘。如此地落下的灰尘会成为阻碍树脂在工件旋转过程中扩展的主要原因，会对产品品质或成品率造成影响。另外，在采用自旋涂布法的场合，树脂在旋转的离心力作用下朝工件的周边缘移动，多余的树脂会飞散掉。这样朝工件的周边缘移动的树脂，由于在重力作用下朝向下方， 因而树脂用以附着在工件的侧部。例如，如图12所示，在工件W为方形的液晶板或盖板的场合，在侧部形成台阶或槽。在该工件W的表面形成薄膜时，如果树脂附着在侧部的话，会招致电气系统或安装发生不良情况，因而不好。为了对此进行应对，还考虑了采用通过缝隙进行树脂涂布的方法。但是，在该方法的场合，由于进行涂布时缝隙的移动要花费时间，所以，生产效率不佳。而且，缝隙移动的正时或移动速度可能会造成在涂布面上残留线条，有时会损害表面的均勻性。进而，为了防止树脂附着到侧部，对缝隙进行正确定位必定不容易。本专利技术是为了解决上述现有技术的问题而提出的，目的是提供能够防止灰尘附着在工件上、并防止薄膜材料附着在工件的侧部，而且能够以均勻的厚度形成薄膜的。用于解决课题的手段为了达成上述目的，本专利技术的薄膜形成装置的特征在于，具有保持部，其对平板状的工件的上表面进行保持；供给部，其把膜材料供给到被所述保持部保持着的工件的垂直方向的下表面；和旋转机构，其使被所述保持部保持的工件旋转，从而使由所述供给部供给的膜材料在工件的下表面上延展。另一方式的特征在于，保持部保持平板状的工件的上表面；供给部把膜材料供给到由所述保持部保持的工件的垂直方向的下表面；旋转机构使被所述保持部保持的工件旋转，从而使被所述供给部供给的膜材料在工件的下表面上延展。在上述那样的专利技术中，由于膜材料朝工件的供给面是朝向下方的，因而落下的灰尘难以附着，可以排除对延展形成阻碍的主要原因，提高品质、成品率。而且，在工件的下表面移动的树脂，在重力作用下朝下下方，所以不会附着在工件的侧部。另一方式的特征为，所述供给部具有使膜材料附着到所述工件的下表面的涂布部。在上述专利技术中，膜材料附着到工件的下表面之后，通过使工件旋转，可以简单地使膜材料延展。另一方式的特征为，所述涂布部设有多个。在上述专利技术中，由多个涂布部把膜材料在多点进行涂布，由此可以调节膜厚度的均勻性。另一方式的特征为，所述供给部具有把膜材料朝所述工件的下表面喷出的喷出部。在上述专利技术中，通过把膜材料喷出，可以以更高的速度使膜材料在工件的下表面上延展。另一方式的特征为，所述喷出部设有多个。在上述专利技术中，通过改变多个喷出部上的喷出量或喷出速度，可以使膜厚均勻、将膜厚局部改变。另一方式的特征为，所述保持部具有保持部件，该保持部件的外形在工件的外形以下。在上述专利技术中，由于保持部件比工件小，所以可以防止飞散的膜材料附着到保持部件上。另一方式的特征为，具有以改变所述工件与所述供给部间的上下方向距离的方式使所述工件与所述供给部的相对位置发生改变的升降机构。另一方式的特征为，所述供给部具有收容膜材料的容器，从而，能够通过由所述升降机构使旋转的工件的下表面与膜材料的表面接近或接触，而使膜材料在工件的下表面上延展。另一方式的特征为，通过使工件与膜材料间的距离改变，从而改变由工件的旋转所产生的工件下表面侧的气流。在上述专利技术中，通过使旋转的工件接近或接触容器内的膜材料的表面，可以节省对管嘴进行定位等的工夫，能使膜材料瞬间在工件上延展。另一方式的特征为，具有把保持着工件的所述保持部朝包含所述供给部的多个部位移动的移动机构。在上述专利技术中，可以在由保持部保持工件上表面的状态下从前一工序朝后一工序移动，不需要将工件翻转，因此，不需要用于进行翻转的设备，可以使装置简化并降低成本。专利技术效果如上述说明的那样，根据本专利技术，能够提供可以防止灰尘附着到工件上并防止膜材料附着在工件的侧部，而且能够形成均勻厚度的薄膜的。附图说明图1是表示本专利技术的薄膜形成装置的一个方式的俯视图。图2是表示图1的方式的保持部及供给部的侧面截面图。图3是表示图1的方式的保持部及硬化部的侧面截面图。图4是表示把树脂朝图1的方式的工件供给并延展的说明图。图5是表示本专利技术的薄膜形成装置的另一方式的俯视图。图6是表示本专利技术的薄膜形成装置的供给部中的另一方式的侧面截面图。图7是表示本专利技术的薄膜形成装置的供给部中的另一方式的侧面截面图。图8是表示本专利技术的薄膜形成装置的供给部中的另一方式的侧面截面图。图9是表示本专利技术的薄膜形成装置的供给部中的另一方式的侧面截面图。图10是表示本专利技术的薄膜形成装置的保持部中的另一方式的侧面截面图。图11是表示现有的自旋涂布装置的一例的侧面截面图。图12是表示一般的液晶板的立体图。具体实施例方式下面参照附图具体说明用来实施本专利技术的方式(以下称为实施方式)。(构成)首先，参照图1 图4说明本实施方式的构成。本实施方式为，在手机的液晶板 (以下称为工件)的表面形成保护用的硬涂层的薄膜形成装置。对于本专利技术实施方式中的将工件搬入、搬出的装置等，由于可以使用所有公知的技术，所以省略其说明。S卩，本实施方式如图1 3所示，具有保持工件1的保持部2、和被适当定位在保持部2的下方的供给部3及硬化部4等。保持部2具有保持机构21、旋转机构22、升降机构23、移动机构M等。保持机构 21如图2所示具有保持部件21a和吸附管嘴21b。保持部件21a为平板状的板，设置成能通过旋转机构22进行旋转。该保持部件21a在从俯视方向观察时，具有与工件1的外形相同或比工件1小的外形。吸附管嘴21b是吸附保持工件1的管嘴。该吸附管嘴21b与未图示的真空源连接， 能够通过阀的切换等对工件1的上表面进行吸附、释放。旋转机构22是通过作为驱动源的马达2 使保持机构21旋转的机构。该旋转机5构22被设置成能通过升降机构23进行升降。升降机构23是具有支柱部23a和臂部23b的驱动机构。支柱部23a是垂直方向的部件，被设置成能通过移动机构M在水平方向移动。臂部2 是水平方向的部件，被设置成一端能够相对于支柱部23a在垂直方向本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种薄膜形成装置，其特征在于，具有：保持部，其对平板状的工件的上表面进行保持；供给部，其把膜材料供给到被所述保持部保持着的工件的垂直方向的下表面；和旋转机构，其使被所述保持部保持的工件旋转，从而使由所述供给部供给的膜材料在工件的下表面上延展。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：广濑治道，泷泽洋次，西垣寿，
申请(专利权)人：芝浦机械电子装置股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
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