一种外气水洗装置，包括：一洗滤单元、设置于该洗滤单元两侧的两温控单元、及分别设置于该两温控单元外侧的前、后空调箱； 其特征在于该洗滤单元则包括： 一第一挡水体； 一第一水洗组，其具有多个喷水器； 一第二水洗组，其具有多个喷水器； 一第一容器，回收来自于所述第一、二水洗组与第一挡水体的水； 一第一泵体，其连接于所述第一水洗组与第一容器之间，并对该第一水洗组供水；及 一第二容器，其内容装干净的水且连接于所述的第二水洗组，并对该第二水洗组供水。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种外气水洗装置，特别是指一种能将外界空气净化到适用于例如无尘室使用且大幅提升其水洗空气的洗条效果、洗涤效率并进而省水、省电与降低成本的外气水洗装置。
技术介绍
芯片在生产过程中的环境要求，是相当严苛的，除了必须精确的控制温度、湿度以外，还必须达到无尘标准及免于化学物质的干扰，因此必须对空气(指所输入的外界空气，即外气)品质进行严格的控管。请参阅图1、图2所示，即为目前用以严格控管外气品质的外气水洗装置，该外气水洗装置1包括一洗滤单元15、分别设置于该洗滤单元15两相对侧的两盘管单元13、14、及分别设置于该两盘管单元13、14相对外侧的前、后空调箱11、12。其中，该前、后空调箱11、12是用以抽、送外界空气，该两盘管单元13、14是用以适度的调节空气温度，至于该洗滤单元15则包括一具有多数喷嘴1511的水洗组151，一用以过滤、拦截脏污的蜂巢板152、一用以回收水而提供再利用的第一容器154、一借由管路1531、1532而连接于所述水洗组151与第一容器154间的第二泵体153、一用以先行储存纯水的第二容器155、及一借由管路157、158而连接于所述第一、二容器154、155间的第一泵体156，故该第二泵体153可借由第一容器154所回收的水而提供该水洗组151的喷水供应，借以使空气含水而达到所需湿度要求，还能达到洗涤空气、并使其洗涤后的水可被第一容器154所回收的目的，而第一泵体156则能将第二容器155内的纯水补入第一容器154之内，借以稀释该第一容器154内的脏污浓度。如此，以便外界空气具有一定的洁净度，而适用于无尘室，并利于芯片或半导体等的生产、制造。但是，现今半导体制程不断朝向纳米化发展，不但已由过往的0.18μm而至0.13μm，甚至于还发展到90nm，因此，其对于无机性气体的防污染要求程度亦相对愈高，然而前述的外气水洗装置1，其洗滤单元15的第一泵体156是将第二容器155内的纯水补入第一容器154之内，而其第二泵体153则使用该第一容器154内的回收水来供其水洗组151喷水，因此，其是利用脏污的水来洗脏污的空气，所述空气的洁净度当然会无法提升。请参阅图3所示的浓度变化趋势的简要示意图(其中，A出口，B入口，C被洗下的空气浓度，D水中含气体的浓度，Y浓度)，即揭示了所述洗滤单元15的前端(入口)、后端(出口)间的“被洗下的空气浓度”是愈来愈低，而“水中含气体(指可溶于水的气体)的浓度”则愈来愈高，并终将导致其水中含气体的浓度达到临界而无法再洗去空气中的脏污，水洗的洗涤效果乃大打折扣，影响空气的洁净度。同时，基于成本的考虑，还必须有效降低其在用水与运转上的成本，但是该公知的外气水洗装置1，其为了能够加强其洗涤的空气的洗净效果，因此其水洗组151的喷水量必然极大，相对使其第二泵体153的耗电量大增，造成浪费水、浪费电的缺点。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种外气水洗装置，其具有的第二水洗组是使用纯水净化空气，并形成逆向流的洗涤模式，以有效的大幅提升其水洗的洗涤效果，并能达到既省水又省电以降低成本的功效。为达上述的目的，本技术可通过如下措施实现一种外气水洗装置，包括一洗滤单元、设置于该洗滤单元两侧的两温控单元、及分别设置于该两温控单元外侧的前、后空调箱；该洗滤单元则包括一第一挡水体；一第一水洗组，其具有多个喷水器；一第二水洗组，其具有多个喷水器；一第一容器，回收来自于所述第一、二水洗组与第一挡水体的水；一第一泵体，其连接于所述第一水洗组与第一容器之间，并对该第一水洗组供水；及一第二容器，其内容装干净的水且连接于所述的第二水洗组，并对该第二水洗组供水。所述的外气水洗装置中，该第一水洗组是设置于该第一挡水体的前侧，该第二水洗组则设置于该第一挡水体的后侧。所述的外气水洗装置中，该洗滤单元是进一步增设一第二挡水体，该第二挡水体是设置于该洗滤单元的最后侧。所述的外气水洗装置中，该第一、二水洗组及第一、二挡水体，是设置于所述第一容器之上。所述的外气水洗装置中，该第一、二水洗组的喷水器的喷水方向，是为与空气成顺向、与空气成逆向、由上往下喷水及由下往上喷水的多种方式的不规则配置运用。所述的外气水洗装置中，该第二容器是为一设置于高处的重力式供水装置。所述的外气水洗装置中，该洗滤单元是进一步包括一第二泵体，该第二泵体是连接于所述第二容器与第二水洗组之间，并对该第二水洗组供水。所述的外气水洗装置中，该第一、二水洗组是为单排的型式。所述的外气水洗装置中，该第一、二水洗组是进一步为多排的型式。所述的外气水洗装置中，该第一、二挡水体是为蜂巢板。所述的外气水洗装置中，该第一、二挡水体是为挡水帘。所述的外气水洗装置中，该喷水器是为喷嘴。所述的外气水洗装置中，该第二容器内是容装纯水。本技术的优点在于本技术的第二水洗组是直接利用高纯度的纯水来进行喷水，因此可有效提升其水洗的洗涤效果。本技术位于前端的第一水洗组是利用第一容器内所回收的脏污的水来洗脏污的空气，而其位于后端的第二水洗组却是直接以极干净的纯水来洗干净的空气，因此其水中含气体的浓度乃绝不致于达到临界。本技术借由逆向流的洗涤模式，除能更进一步大幅提升其洗涤效果以外，还能减少前端第一水洗组的喷水量，而同时达到省水、省电的功效，并因此而提升其水洗的洗涤效率且还能降低成本。附图说明图1为公知外气水洗装置的立体示意图；图2为公知外气水洗装置中的洗滤单元的示意图；图3为公知外气水洗装置中的洗滤单元的浓度变化趋势的简要示意图；图4为本技术外气水洗装置的立体示意图；图5为本技术外气水洗装置中的洗滤单元的示意图；图6为本技术外气水洗装置中的洗滤单元的浓度变化趋势的简要示意图；图7为本技术外气水洗装置中的洗滤单元的另一实施例示意图。附图标记说明公知1 外气水洗装置11 前空调箱 12 后空调箱13 盘管单元 14 盘管单元15 洗滤单元 151水洗组 1511喷嘴152蜂巢板153第二泵体 1531 管路1532 管路154第一客器155第二容器 157管路156第一泵体 158管路本技术2 前空调箱3 后空调箱4 温控单元5 控单元6 洗滤单元61 第一水洗组 611喷水器62 第一挡水体63 第二水洗组 631喷水器 64 第二挡水体65 第一容器66 第二容器67 第二泵体 671 管路 672管路68 第一泵体 681 管路 682管路具体实施方式请参阅图4、图5所示，本技术是提供一种外气水洗装置，包括一洗滤单元6、分别设置于该洗滤单元6两相对侧的两温控单元4、5，及分别设置于该两温控单元4、5相对外侧的前、后空调箱2，3。其中，所述前、后空调箱2、3是用以抽、送外界空气，该两可为冷却盘管的温控单元4、5是为用以适度调节空气的温度。至于该洗滤单元6则包括各具有多个喷水器611、631的第一、二水洗组61、63、用以过滤，拦截脏污的第一、二挡水体62、64、一用以回收水而提供再利用的第一容器65、一用以循环供水的第一泵体68、一用以供应纯水的第二泵体67、及一储存有纯水的第二容器66。其中，该第一、二水洗组61、63及第一、二挡水体62、64除均设本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨政谕，
申请(专利权)人：亚翔工程股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。