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卷轴装置和利用其的薄膜装载装置制造方法及图纸

技术编号:7166233 阅读:225 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了卷轴装置和利用该卷轴装置的薄膜装载装置。所公开的卷轴装置包括:卷绕有半导体薄膜的供给卷轴;与所述供给卷轴布置在同一轴线上,卷绕有从所述半导体薄膜剥离的保护薄膜的卷收卷轴;分别驱动所述供给卷轴和卷收卷轴的驱动单元。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及供给卷轴和卷收卷轴在同心轴上呈两列布置的卷轴装置和利用这种卷轴装置的薄膜装载装置。
技术介绍
通常,薄膜装载装置的作用在于将卷绕在卷轴上的薄膜提供给下一道工序。这种薄膜装载装置应用于各种场合,作为一例,利用于封装系统(potting system),该封装系统用于在薄膜上固定半导体的步骤,即ILBdrmer Lead Bonding,内部引线接合)工序。 这种在半导体薄膜(覆晶薄膜(COP :Chip On Film)或带载体封装(TCP :Tape Carrier Package))上涂敷树脂并顺序进行干燥和固化处理的封装系统,具有与保护胶带分离之后送出半导体薄膜的装载器、在送出的半导体薄膜上涂布半导体元件的封装器(potter)、对贴附所述元件的半导体薄膜进行加热而使其固化的预热炉以及重新卷取所述固化的半导体薄膜的卸载器。所述现有的薄膜装载装置具有卷绕有半导体薄膜的供给卷轴和卷绕从半导体薄膜分离的保护胶带的卷收卷轴,这种供给卷轴和卷收卷轴以相互分离的状态以预定间距上下布置。即,供给卷轴和卷收卷轴布置在互不相同的中心轴上。此时,使用者是通过手工操作,亲自将供给卷轴和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卷轴装置,其特征在于包括:卷绕有薄膜的供给卷轴;卷收卷轴,其与所述供给卷轴布置在同一轴线上,用于卷绕从所述薄膜剥离的保护薄膜;驱动单元,分别驱动所述供给卷轴和卷收卷轴。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:柳基雄
申请(专利权)人:SEC株式会社
类型:发明
国别省市:KR

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