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本发明公开了卷轴装置和利用该卷轴装置的薄膜装载装置。所公开的卷轴装置包括：卷绕有半导体薄膜的供给卷轴；与所述供给卷轴布置在同一轴线上，卷绕有从所述半导体薄膜剥离的保护薄膜的卷收卷轴；分别驱动所述供给卷轴和卷收卷轴的驱动单元。...
该专利属于ＳＥＣ株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过ＳＥＣ株式会社授权不得商用。

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