具有温控装置的光学组件制造方法及图纸

一种温控装置（１９）被用于控制具有其温度要被控制的至少一个光学体（１７）的光学组件（１６）的温度，所述至少一个光学体（１７）具有可以通过热流（３９）对其作用的至少一个表面（１８）。所述温控装置（１９）具有热沉（２０），用于接收从所述光学体（１７）或与所述光学体（１７）热连接的传输体发射的热流（２１）。所述热沉（２０）被布置为与所述光学表面（１８）的边缘区域（２２）相邻。所述温控装置（１９）具有加热机构（２８），加热机构（２８）具有至少一个加热体（２９），至少一个加热体（２９）与所述光学体（１７）相邻布置。所述加热体（２９）经由物理热桥（３２）连接到所述热沉（２０）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于具有至少一个光学体的光学组件的温控装置，所述光学体的温度要被控制且其具有可以由热流并且特别地利用有用辐射对其作用的至少一个光学表面。此外，本专利技术涉及具有此类似的温控装置的光学组件，具有此类型的光学组件的照明光学部件、具有此类型的光学组件的投射光学部件、以及具有此类型的照明光学部件或者具有此类型的投射光学部件的投射曝光设备。
技术介绍
开始所提到的类型的温控装置被US 7，102，727B2公开。
技术实现思路
本专利技术的目的在于开发一种开始所提类型的温控装置，从而可以以小费用进行用于最小化由光学体(尤其是光学表面)的热弹力变形所导致的光学误差的光学体的预定温控。根据本专利技术由一种用于光学组件的温控装置实现此目的，所述光学组件具有要控制其温度且带有将用热流对其作用的至少一个表面的至少一个光学体，所述温控装置-具有热沉，其接收从所述光学体或与所述光学体热连接的传输体发射的热流，-其中，所述热沉被布置为与所述光学表面的边缘区域相邻，-具有加热机构，其具有至少一个加热体并校正所述光学体的变形，所述至少一个加热体被布置为与所述光学体相邻，-其中，所述加热体通过物理本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．用于具有其温度要被控制的至少一个光学体（１７）的光学组件（１６）的温控装置（１９），所述至少一个光学体（１７）具有可以通过热流（３９）对其作用的至少一个表面（１８），所述温控装置（１９）－具有热沉（２０），所述热沉接收从所述光学体（１７）或与所述光学体（１７）热连接的传输体发射的热流（２１），－其中，所述热沉（２０）被布置为与所述光学表面（１８）的边缘区域（２２）相邻，－具有加热机构（２８），其校正所述光学体（１７）的变形并具有至少一个加热体（２９），所述至少一个加热体（２９）被布置为与所述光学体（１７）相邻，－其中，所述加热体（２９）通过物理热桥（３２）连接到所述热沉（２０），且所述加热...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿明·舍帕克，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：DE