利用扫描电子显微镜成像的方法和实施该方法的扫描电子显微镜技术

在用扫描电子显微镜成像的情况下，首先将待成像的样品定位(27)在扫描电子显微镜(SEM)的真空室中，使得SEM的成像场到达待成像样品的一部分。将水添加(29)到真空室中，使得水作为H<subgt;2</subgt;O层沉淀在成像场区域中的样品上。然后将真空室中的样品冷却(30)至低于‑10℃的温度。然后，借助于成像场位于其中的清洁场内的至少一次电子清洁扫描来执行样品清洁操作(32)。在清洁扫描期间去除H<subgt;2</subgt;O层。然后，在所述至少一次清洁扫描结束之后，借助于电子成像扫描对所述成像场(34)进行成像(35)。结果是一种成像方法，其中在成像场的成像中待成像的样品的样品表面可靠地清洁。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

1、本专利申请要求德国专利申请de 10 202 1 212 978.1的优先权，其内容通过引用并入本文。

2、本专利技术涉及一种用扫描电子显微镜成像的方法。本专利技术还涉及用于执行该方法的扫描电子显微镜(sem)。

3、用于该目的的扫描电子显微镜和成像方法是已知的，例如，从ep 1 362361b1和us5,319,207中已知。us2010/0126255 a1公开了与带电颗粒一起工作的系统中的冰层，以及用于该目的的方法。us2013/0288182 a1公开了一种利用冷凝冰的电子束处理操作。wo2007/044035 a2公开了通过能量刺激局部去除再升华气体层和用这种层产生的化学固态反应的结构化。us 2004/0140298a1公开了一种借助于冰层的基板清洁操作。wo 89/10803a1公开了一种清洁表面和流体的方法。jp 11031673 a公开了一种用于基板清洁的设备和方法。从a.han等人的期刊文章“an ice lithography instrumen本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用扫描电子显微镜(1)成像的方法，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，冷却中的所述样品(30；28、30)被冷却至低于-100℃的温度。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，添加(29)水，直到所述真空室(15)中的H2O分压大约为10-3mbar。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，甚至在添加水(29)之前或期间冷却(28)所述样品(10)，使得在添加(29)的过程中，所述H2O层作为冰层(31)沉淀在所述样品上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，在所述成像...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种用扫描电子显微镜(1)成像的方法，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，冷却中的所述样品(30；28、30)被冷却至低于-100℃的温度。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，添加(29)水，直到所述真空室(15)中的h2o分压大约为10-3mbar。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，甚至在添加水(29)之前或期间冷却(28)所述样品(10)，使得在添加(29)的过程中，所述h2o层作为冰层(31)沉淀在所述样品上。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，在所述成像场(34)的区域中的所述样品(10)上的所得冰层(31)具有在1nm和6nm之间的范围内的厚度。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，所述样品清洁操作(32)涉及进行多于一百次清洁扫描。

7.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：D·费彻尔，B·辛德勒，A·施曼兹，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：