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一种温控装置(19)被用于控制具有其温度要被控制的至少一个光学体(17)的光学组件(16)的温度,所述至少一个光学体(17)具有可以通过热流(39)对其作用的至少一个表面(18)。所述温控装置(19)具有热沉(20),用于接收从所述光学体(...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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一种温控装置(19)被用于控制具有其温度要被控制的至少一个光学体(17)的光学组件(16)的温度,所述至少一个光学体(17)具有可以通过热流(39)对其作用的至少一个表面(18)。所述温控装置(19)具有热沉(20),用于接收从所述光学体(...